窦广彬
- 作品数：4 被引量：6H指数：2
- 供职机构：哈尔滨工业大学更多>>
- 发文基金：国家重点实验室开放基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：金属学及工艺理学自动化与计算机技术更多>>
- 高斯分布激光前向转印Cu薄膜形貌及机理被引量：4
- 2013年
- 激光诱发前向转印技术,作为一种微加工手段,具有制备微小结构的能力,目前已经成为微细加工领域的研究热点。通过改变高斯分布激光脉冲功率密度,进行了Cu薄膜在石英玻璃表面的转印实验,并对转印沉积薄膜进行了光学显微镜、扫描电子显微镜(SEM)和X射线光电子能谱(XPS)表面氧化状态分析,探讨了激光脉冲功率密度与沉积薄膜的尺寸、特殊形貌以及薄膜厚度均匀性的关系,并在此基础上研究了激光转印Cu薄膜的机理。结果表明,当激光平均脉冲功率密度达到1×105 W/cm2时,Cu薄膜的转印才可以发生。随着激光脉冲功率密度的增加,转印Cu薄膜尺寸增加,并由薄膜转变为圆环形,最终尺寸达到一定值。激光转印薄膜表层10nm以下,基本上没有氧化发生。薄膜附着在基板上,连接紧密,并未观察到明显的扩散迹象。
- 刘威窦广彬王春青田艳红叶交托
- 高斯分布激光散焦距离对激光转印Cu薄膜形貌影响及机理分析被引量：2
- 2013年
- 激光诱发前向转印(LIFT)技术作为微加工的一种手段,具有制备微小结构的能力,目前已经成为微细加工领域的研究热点。通过改变高斯分布的激光聚焦位置,进行了Cu薄膜在石英玻璃表面的转印实验,并对转印沉积薄膜进行了光学显微镜、扫描电子显微镜(SEM)和能量弥散X射线(EDX)等分析,探讨了激光散焦距离与沉积薄膜的尺寸、形貌以及厚度均匀性的关系,并在此基础上研究了转印薄膜形貌发生变化的机理。研究结果表明,随着激光光斑离焦距离的增大,转印图形的尺寸先增大后变小,直至消失。转印Cu薄膜的形态从环形或火山形,转变为圆形,并且圆形薄膜的边缘存在大量微小的Cu颗粒。薄膜的转印形式也由开始的液态转印向固态转印演变。
- 刘威窦广彬王春青田艳红叶交托
- 绕弯机上位机控制系统
- 该文数据采集采用RS485通讯协议,采集硬件使用ADAM-4017模块,采集端口使用计算机的COM1口,计算机采集模式采用中断模式.数据传送采用RS323协议,传送接口使用计算机的COM2口,传送数据采用Visual B...
- 窦广彬
- 关键词：PID算法模糊控制
- 文献传递
- 一种结晶完全且无杂相产生的多铁性薄膜及其制备方法
- 一种结晶完全且无杂相产生的多铁性薄膜及其制备方法，本发明涉及一种多铁性薄膜及其制备方法。本发明是要解决现有的BiFeO<Sub>3</Sub>(BFO)基薄膜漏电流较大、铁磁性能较差、与Pt底电极发生反应生成Bi<Sub...
- 王春青李彬窦广彬
- 文献传递
