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田燕

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：江苏大学能源与动力工程学院更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇国内会议论文

领域

  • 1篇理学

主题

  • 2篇数值模拟
  • 2篇金属有机化学...
  • 2篇化学气相
  • 2篇化学气相沉积
  • 2篇MOCVD反...
  • 2篇值模拟
  • 1篇大涡模拟
  • 1篇数值模拟与分...
  • 1篇热对流
  • 1篇反应器
  • 1篇传热
  • 1篇传热率

机构

  • 2篇江苏大学

作者

  • 2篇蒋花红
  • 2篇田燕
  • 2篇左然
  • 2篇李昌烽
  • 2篇李晖
  • 1篇刘石兵

传媒

  • 1篇中国力学大会...

年份

  • 1篇2011
  • 1篇2010
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
垂直式MOCVD反应器内部湍流热对流的数值模拟与分析
工程中现有的MOCVD(金属有机化学气相沉积)反应器一般是工作在层流状态，但随着反应器内部压力的提高和晶片尺寸的加大，反应器内部的流动将会转捩为湍流。本文以垂直式冷壁反应器为例，采用大涡模拟(LES)的方法对其内部的流场...
田燕李昌烽蒋花红刘石兵李晖左然
关键词：金属有机化学气相沉积反应器数值模拟
文献传递
MOCVD反应器内部湍流流动和传热的数值模拟
工程中现有的MOCVD反应器一般是工作在层流状态，但随着反应器内部压力的提高和晶片尺寸的加大，反应器内部的流动将会转捩为湍流。本文以垂直式冷壁反应器为例，采用大涡模拟(LES)的方法对其内部的流场和温度场在不同Rayle...
田燕李昌烽蒋花红李晖左然
关键词：金属有机化学气相沉积大涡模拟传热率数值模拟
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共1页<1>
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