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王立峰
作品数:
180
被引量:11
H指数:2
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东南大学
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电气工程
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黄庆安
东南大学电子科学与工程学院微电...
董蕾
东南大学
秦明
东南大学
韩磊
东南大学电子科学与工程学院微电...
易真翔
东南大学
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10篇
2005
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多晶硅断裂强度的电测量
2005年
分析了两端固定的发热梁的热膨胀力,得到热膨胀力的理论公式.利用这一结论得到了断裂强度测试结构的待测多晶硅薄膜的断裂强度与输入电流的关系式.使用发热梁作驱动将待测多晶硅拉断,只须读取拉断时外加的电流就能计算出多晶硅的断裂强度.使用电测量的方法测试多晶硅的断裂强度,测试方法简单.通过模拟验证,其精度足以满足工艺线在线测试的要求.
王立峰
黄庆安
关键词:
电测量
热驱动
一种用于测量轴承应力大小的LC应变传感器及测量方法
本发明公开了一种用于测量轴承应力大小的LC应变传感器及测量方法,传感器包括激励电感、应变敏感电容和传感器电感。应变敏感电容包括衬底层、绝缘介质层、结构层悬臂叉指结构、表面电极。应变敏感电容与传感器电感固定连接,构成LC谐...
王立峰
张驰
黄庆安
董蕾
文献传递
一种柔性无源无线湿度、压力集成传感器
本发明涉及传感器技术领域,公开了一种柔性无源无线湿度、压力集成传感器,该集成传感器包括叉指电容式湿度传感器和叉指电容式压力传感器,从上到下依次设置有湿度敏感薄膜、上金属层、柔性基板、中间金属层、介质层、下金属层与封装层,...
邓文俊
王立峰
董蕾
黄庆安
文献传递
一种三维异质集成TSV通孔电‑热‑力耦合建模方法及仿真方法
本发明公开了一种三维异质集成TSV通孔电‑热‑力耦合建模方法及仿真方法,包括:三维异质集成TSV通孔结构,根据三维异质集成TSV制造工艺参数建立三维等效几何模型;设置模型各部分的材料参数;根据实际情况添加相应的边界条件和...
汪东澍
王立峰
黄庆安
文献传递
一种高灵敏度的柔性无源无线压力传感器
本发明公开了一种高灵敏度的柔性无源无线压力传感器,包括两个线圈电极,位于线圈电极之间的介质层与位于线圈电极之外的封装层,线圈电极、介质层与封装层采用绝缘柔性的高分子聚合物材料制成;所述的线圈电极为带有平板电极的螺旋电感,...
邓文俊
王立峰
黄庆安
文献传递
N型差分式电场微传感器
N型差分式电场微传感器,由n沟道电场传感器、n沟道耗尽型金属氧化物半导体管、P型金属氧化物半导体管电流镜及N型金属氧化物半导体管组成,P型金属氧化物半导体管电流镜由2个P型金属氧化物半导体管组成,2个P型金属氧化物半导体...
黄庆安
王立峰
秦明
茅盘松
文献传递
P型差分式电场微传感器
P型差分式电场微传感器,由p沟道电场传感器、p沟道耗尽型金属氧化物半导体管、N型金属氧化物半导体管电流镜及P型金属氧化物半导体管组成,N型金属氧化物半导体管电流镜由2个N型金属氧化物半导体管组成,2个N型金属氧化物半导体...
黄庆安
王立峰
秦明
茅盘松
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一种工作频率自动匹配的远距离LC无源无线传感系统
本发明公开了一种工作频率自动匹配的远距离LC无源无线传感系统,属于测量、测试的技术领域。该系统包括LC无源无线传感器以及与其通过耦合电感无线连接的读出电路,调节读出电路中可变电容的电容值使得读出电路时刻与LC无源无线传感...
周彬彬
董蕾
王立峰
黄庆安
配电系统中多换流器式统一电能质量调节装置
本发明提供一种配电系统中多换流器式统一电能质量调节装置,主要包括限流电感、变压器和连接电感;根据三相配电线路的负载为非线性整流或电阻型的不同情况,装置分别包括2个并联型电压源换流器、1个串联型电压源换流器;限流电感分别并...
郑建勇
吴峰
梅军
王立峰
文献传递
电感悬臂梁无线无源加速度传感器
本发明是一种电感悬臂梁无线无源加速度传感器,其中,绝缘介质层(2)设置在所述衬底(1)上表面;所述电感结构(3)和所述锚区结构(4)并排设置在所述绝缘介质层(2)上表面;所述电感悬臂梁结构(5)的一端与所述锚区结构(4)...
王立峰
黄庆安
董蕾
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