孟扬
- 作品数:21 被引量:62H指数:6
- 供职机构:中国科学院兰州物理研究所更多>>
- 相关领域:一般工业技术机械工程金属学及工艺更多>>
- 定容式气体微流量计的测量误差分析被引量:1
- 1998年
- 从原理上对定容式气体微流量计(CVFM)和带参考室的CVFM的流量测量误差进行了理论分析。测量过程中温度变化对CVFM的流量测量误差作用较大,是影响CVFM测量下限的一个主要因素。为CVFM增加一个参考室,可以减少测量过程中温度变化对CVFM的流量测量误差的贡献。
- 孟扬李旺奎
- 关键词:流量计气体微流量计真空测量
- 吸枪式质谱计检漏法的定量性研究被引量:4
- 1996年
- 一般情况下,吸枪法检漏很少具有定量性。本文介绍的方法。
- 李旺奎孟扬
- 关键词:真空检漏质谱计检漏仪
- 气体微流量标准装置的测控系统和实验研究被引量:2
- 1995年
- 气体微流量标准装置的测控系统在计算机控制下,采用电容薄膜规、光栅尺、铂电阻温度计等高精度传感器测出变容室内气体的压力、体积变化、温度等参量;并在流量测量的动态过程中将变客室内气体的压力波动控制在±0.01%之内;工作软件实现了对气体微流量标准装置的计算机自动化控制和管理。气体激流量标准装置可以标准17.1~1.22×10-5PaL/s范围内的气体流量,校准不确定度小于1.93%;目前它已用于标准漏孔的标定和实用型气体流量计的校准工作中。
- 孟扬
- 关键词:气体校准装置
- 真空计电参数检定装置的测控系统
- 1996年
- 为了提高检测精度,使日常检定工作方便可靠,在真空计线路检定工作中,采用IEEE-488接口组成自动化测试系统,完成了近距离高速并行数据通讯。在UCDOS汉字系统下使用FOXPRO、C语言等开发工具进行混合编程。
- 田东旭孟扬
- 关键词:计算机应用真空计
- 气体微流量标准装置的测控系统
- 1996年
- 气体微流量标准装置的测控系统在计算机控制下,采用电容薄膜规、光栅尺、铂电阻温度计等高精度传感器测出了变容室内气体的压力、体积变化县、温度等参量;并以计算机为控制器,利用比例积分微分算法,在流量测量的动态过程中将变客室内气体的压力被动控制在±0.01%之内;工作软件实现了对气体激流量标准装置的计算机自动化控制和管理。
- 孟扬李旺奎
- 关键词:气体流量控制装置气体微流量
- 真空漏孔的校准方法被引量:7
- 1998年
- 在检漏工作中,要定量地确定被检漏孔的漏率,需要将漏率的量值从气体微流量标准或漏率标准正确地传递到质谱检漏仪。在这个传递过程中,对参考漏孔的校准是一个很重要的环节。以国内外有关的标准和文献为基础,对真空漏孔的常用校准方法──定容变压法、恒压变容法、变容变压法和比较法分别给予分析和介绍。
- 孟扬李旺奎
- 关键词:真空漏孔校准检漏
- 气体微流量测量及标准装置概论被引量:6
- 1997年
- 本文全面而概略地论述了气体微流量的测量及其标准的发展和现状。着重考虑了作为气体微流量标准装置核心的恒压式气体微流量计的原理、结构、下限因素和不确定度等基本问题。简略地介绍了我们在这方面的工作和特点。
- 李旺奎刘强孟扬
- 关键词:气体微流量真空测量
- 动态流量法超高真空标准装置被引量:9
- 1999年
- 研制成功的动态流量法超高真空标准装置是一台用来校准真空规的绝对真空计量标准。装置由校准系统、微流量计系统、抽气系统和计算机控制系统组成。校准系统采用四球结构 ,校准球室直径为50 0mm。极限真空度为 6 5× 10 - 9Pa ,校准范围为 10 - 2 ~ 10 - 7Pa ,不确定度为 3% (10 - 2 ~ 10 - 6 Pa)和10 % (10 - 7Pa)。
- 李旺奎刘强吕时良张涤新马诗龙胡伟孟庆华李得天李正海龚月莉孟扬温昕晖田东旭李莉
- 关键词:超高真空
- 吸枪式质谱计检漏法的定量性研究
- 一般情况下,吸枪法检漏很少具有定量性。本文介绍的方法,改善了吸枪法检漏的定量性。
- 孟扬
- 关键词:检漏质谱检漏仪
- 真空计的发展新趋势被引量:12
- 1999年
- 结合真空计的发展历史和使用需求 ,通过对国际上近几年的真空计新产品的分析可知 ,目前常用真空计具有向小型化、一体化、集成化、系统化和智能化方向发展的趋势。小型化是指真空计的体积越来越小 ,一体化是指真空计电路部分与规管集成为一体 ,集成化是指将多只真空计组合为一体 ,系统化是指将真空度的测量与控制相结合 ,智能化是指真空计具有自我诊断、自我保护、自动操作和数据处理等综合处理功能。这些趋势是在电子技术和计算机技术迅速发展的技术推动下 ,为满足应用的需求而产生的结果。
- 孟扬李旺奎
- 关键词:真空计小型化一体化集成化智能化