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孟凯
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7
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供职机构:
中国科学院光电技术研究所
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相关领域:
文化科学
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合作作者
万勇建
中国科学院光电技术研究所
施春燕
中国科学院光电技术研究所
王佳
中国科学院光电技术研究所
范斌
中国科学院光电技术研究所
申立军
中国科学院光电技术研究所
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孟凯
7篇
万勇建
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范斌
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王佳
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施春燕
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1篇
2016
1篇
2015
2篇
2014
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CCOS抛光工艺抑制不同频段误差能力的评价方法
本发明CCOS抛光工艺抑制不同频段误差能力的评价方法,所述方法的步骤如下:步骤S1:利用光学元件抛光前后的功率谱密度函数PSD<Sub>bef</Sub>、PSD<Sub>aft</Sub>,构建出平滑谱函数H与PSD<...
王佳
范斌
万勇建
施春燕
卓彬
孟凯
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去除函数在确定抛光条件下的误差抑制能力的评价方法
本发明为去除函数在确定抛光条件下的误差抑制能力的评价方法,步骤S1:利用第j-1次和第j次抛光后光学元件面形数据的功率谱密度函数PSD<Sub>j-1</Sub>、PSD<Sub>j</Sub>,构建出平滑谱函数H模型即...
王佳
范斌
万勇建
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孟凯
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一种测量圆形光学平面表面粗糙度的取样方法
本发明公开一种测量圆形光学平面表面粗糙度的取样方法,包括步骤:步骤S1:根据圆形光学平面的尺寸和精度要求,设定取样区域的数目为m,每个取样区域取一个采样点则共有m个取样点;步骤S2:确定每个取样区域中心在极坐标系下的角度...
孟凯
万勇建
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申立军
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一种测量圆形光学平面表面粗糙度的取样方法
本发明公开一种测量圆形光学平面表面粗糙度的取样方法,包括步骤:步骤S1:根据圆形平面的尺寸和精度要求,设定取样区域的数目为m,每个取样区域取一个采样点则共有m个取样点;步骤S2:确定每个取样区域中心在极坐标系下的角度坐标...
孟凯
万勇建
伍凡
申立军
CCOS抛光工艺抑制不同频段误差能力的评价方法
本发明CCOS抛光工艺抑制不同频段误差能力的评价方法,所述方法的步骤如下:步骤S1:利用光学元件抛光前后的功率谱密度函数PSD<Sub>bef</Sub>、PSD<Sub>aft</Sub>,构建出平滑谱函数H与PSD<...
王佳
范斌
万勇建
施春燕
卓彬
孟凯
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一种抑制光学表面全频段误差的抛光磨盘
本发明为一种抑制光学表面全频段误差的抛光磨盘,具有一转轴连接端位于基底的外上部中心位置;一基底具有环状凸台位于侧壁的外侧,环状凸台上具有一组固接螺孔,一组固接螺孔中心对称于转轴连接端;一法兰环,为圆环柱体,且具有一组固接...
王佳
范斌
万勇建
施春燕
孟凯
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去除函数在确定抛光条件下的误差抑制能力的评价方法
本发明为去除函数在确定抛光条件下的误差抑制能力的评价方法,步骤S1:利用第j-1次和第j次抛光后光学元件面形数据的功率谱密度函数PSD<Sub>j-1</Sub>、PSD<Sub>j</Sub>,构建出平滑谱函数H模型即...
王佳
范斌
万勇建
施春燕
卓彬
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