孙天乐
- 作品数：8 被引量：2H指数：1
- 供职机构：西安理工大学更多>>
- 相关领域：电气工程电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 一种用于磁控溅射工艺的电弧熄灭方法
- 本发明公开了一种用于磁控溅射工艺的电弧熄灭方法，首先采样磁控溅射电源输出电压、电流，根据电压斜率和电流幅值进行电弧侦测，判断电弧是否产生；其次，根据电弧产生的电流幅值大小进行电弧分类，将电弧分为第一电弧类型和第二电弧类型...
- 陈桂涛孙天乐孙强黄西平
- 文献传递
- 一种提高磁控溅射脉冲电源输出脉冲频率的装置
- 本实用新型公开了一种提高磁控溅射脉冲电源输出脉冲频率的装置，包括依次连接的直流电流源模块、高频脉冲发生模块及磁控溅射装置，直流电流源模块、高频脉冲发生模块还分别与控制模块连接。本实用新型提高磁控溅射脉冲电源输出脉冲频率的...
- 孙强孙天乐陈桂涛黄西平
- 文献传递
- 脉冲磁控溅射电源关键技术研究
- 磁控溅射技术是一种给基体上施加负电压的真空镀膜工艺。磁控溅射设备一般包括真空沉积室和磁控溅射电源等。磁控溅射工艺中,给基体上加脉冲电压,相对于直流电压,得到的薄膜性能更好。 在磁控溅射基体上加脉冲电压,可以获得性能良好...
- 孙天乐
- 关键词：真空镀膜
- 文献传递
- 基于FPGA的新型非对称双极脉冲磁控溅射电源的研究被引量：2
- 2013年
- 研究了基于FPGA的非对称双极脉冲电源,解决了磁控溅射工艺中遇到的共性问题,同时获得了优异的膜层性能和更宽的工艺范围。可以根据磁控溅射电源工艺需求对双向脉冲参数包括脉冲幅值、频率、占空比,以及正负向个数和正向脉冲与负向脉冲之间的换向时间等自由调节。最后设计了一个6 kW/100 kHz样机,前级采用两个独立的DC/DC变换器作为直流源,后级为一个非对称脉冲发生器。采用Altera公司的FPGA(EP3C25Q240C8)作为数字处理器实现了电源的数字控制,同时对后级脉冲变换环节实现高自由度控制,通过实验结果分析进一步验证了设计的可行性。
- 陈桂涛孙天乐孙强钟彦儒
- 关键词：脉冲电源磁控溅射
- 双极性脉冲UMS电源的研究
- 2013年
- 研制了一台高性能双极性脉冲非平衡磁控溅射(MS)电源。该电源以FPGA为控制系统核心,采用交变脉冲单元实现双极性脉冲输出,并针对脉冲条件下的等离子体负载特性及MS工艺需求,设计了负载匹配电路、多级电弧管理策略和数字脉冲复合调制(DPCM)策略。搭建一台10 kW样机并进行了测试,结果表明该电源具备多变量脉冲输出特性及良好的电弧管理能力,为MS工艺的研究与探索提供了重要的技术支撑。
- 陈桂涛孙天乐孙强
- 关键词：电源磁控溅射复合调制
- 一种电压源型非对称脉冲变换器及其输出脉冲的控制方法
- 本发明公开了一种电压源型非对称脉冲变换器，属于电力电子变换器领域。该变换器包括直流电压源、直流电压源、脉冲变换器电路；脉冲变换器电路3由5个开关管和5个二极管组成；本发明还公开了一种利用上述脉冲变换器输出脉冲的控制方法，...
- 陈桂涛孙天乐孙强黄西平
- 一种用于磁控溅射工艺的电弧熄灭方法
- 本发明公开了一种用于磁控溅射工艺的电弧熄灭方法，首先采样磁控溅射电源输出电压、电流，根据电压斜率和电流幅值进行电弧侦测，判断电弧是否产生；其次，根据电弧产生的电流幅值大小进行电弧分类，将电弧分为第一电弧类型和第二电弧类型...
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- 一种电压源型非对称脉冲变换器及其输出脉冲的控制方法
- 本发明公开了一种电压源型非对称脉冲变换器，属于电力电子变换器领域。该变换器包括直流电压源（两个）、脉冲变换器电路；脉冲变换器电路3由5个开关管和5个二极管组成；本发明还公开了一种利用上述脉冲变换器输出脉冲的控制方法，本发...
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