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史建伟

作品数：3 被引量：10H指数：2
供职机构：东南大学微电子中心更多>>
相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 3篇自动化与计算...
  • 1篇机械工程

主题

  • 3篇加速度
  • 3篇感器
  • 3篇传感
  • 3篇传感器
  • 2篇速度传感器
  • 2篇隧道效应
  • 2篇加速度传感器
  • 1篇扭摆
  • 1篇扭摆式
  • 1篇微电子
  • 1篇微硅
  • 1篇微机械
  • 1篇微机械加工
  • 1篇微加速度计
  • 1篇加速度计

机构

  • 3篇东南大学

作者

  • 3篇史建伟
  • 2篇陈德英
  • 1篇熊涛
  • 1篇金肖科
  • 1篇张旭
  • 1篇茅盘松

传媒

  • 2篇电子器件

年份

  • 1篇2001
  • 1篇2000
  • 1篇1999
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
隧道加速度计的发展概况被引量：7
1999年
利用隧道电流对于位移的敏感性，可以制作高分辨率的加速度计。本文介绍了隧道加速度计的工作原理、特点及发展趋势。
史建伟陈德英
关键词：微加速度计微机械加工传感器
扭摆式微硅隧道加速度传感器被引量：6
2001年
本文介绍了扭摆式隧道加速度传感器的结构、工作原理、简化的力学模型 ,设计了版图、工艺流程及关键工艺 ,并制备出样品 。
陈德英茅盘松史建伟熊涛张旭金肖科
关键词：微硅扭摆式隧道效应加速度传感器
非对称扭摆式隧道加速度计的研制
该文提出了一种非对称扭摆式结构的隧道加速度传感器,分别从工作原理、方案选取、结构设计和制作工艺上作了详尽的阐述,对关键工艺作了单项实验并进行了流水试制以及对试制样品进行了分析.论文首先介绍了近十几年来国外隧道加速度传感器...
史建伟
关键词：微电子隧道效应加速度传感器
文献传递
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