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付军
作品数:
92
被引量:11
H指数:2
供职机构:
清华大学
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发文基金:
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相关领域:
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文化科学
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合作作者
王玉东
清华大学信息科学技术学院清华信...
崔杰
清华大学信息科学技术学院微电子...
刘志弘
清华大学信息科学技术学院微电子...
张伟
清华大学
赵悦
清华大学信息科学技术学院微电子...
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付军
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1998
2篇
1997
2篇
1996
共
92
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全耗尽SOI MOSFET的阈电压的解析模型
被引量:2
1996年
本文在近似求解全耗尽SOIMOSFET所满足的二维泊松方程的基础上,建立了阈电压的解析模型。通过与PISCES的模拟结果以及相应的实验数据的比较,证明本模型的误差较小。此外,本模型还具有计算简便、快速,形式直观,物理意义明确等优点。本模型的建立对于全耗尽SOIMOSFET电路模拟、器件物理特性研究及相关的工艺设计是很有意义的。
付军
田立林
钱佩信
罗台秦
关键词:
全耗尽
MOSFET
阈电压
场效应器件
一种用于离子注入的激光辅助装置及其使用方法
本发明属于半导体制造装置和方法技术领域,特别涉及一种用于离子注入的激光辅助装置及其使用方法。本发明在离子注入机外部设置激光器,通过透明窗射入到离子注入机内部,又经过透明窗内侧设置的激光反射镜作用,射至晶圆片表面,激光光束...
严利人
刘志弘
周卫
张伟
王玉东
付军
崔杰
带应变增强结构的半导体应变MOS器件及制备工艺
本发明公开了属于半导体器件范围的一种带有应变增强结构的半导体应变MOS器件及制备工艺。在MOS器件源漏接触区两侧制作开槽结构,阻断或者减弱来自源漏两侧的对沟道区的作用,排除了沟道两侧材料对于沟道区的影响,从而使得器件沟道...
严利人
周卫
付军
王玉东
刘志弘
张伟
文献传递
基于两步等效的片上非等宽螺旋电感的电感值确定方法
本申请提供一种基于两步等效的片上非等宽螺旋电感的电感值确定方法,包括:将片上非等宽螺旋电感初步等效为相等圈数的正多边形非等宽共心闭合金属;根据初步等效的正多边形非等宽共心闭合金属确定总共电感值计算项数,并根据多个无耦合关...
谢双文
付军
嵌入式外延外基区双极晶体管制备方法
本发明公开了一种嵌入式外延外基区双极晶体管制备方法,为解决现有制备方法,步骤多且繁琐、生产效率低、生产成本高等问题而设计,本发明制备方法依次包括:制备第一掺杂类型的集电区、在集电区上制备第二掺杂的基区、在基区上制备介质层...
王玉东
付军
崔杰
赵悦
刘志弘
张伟
李高庆
吴正立
许平
文献传递
负载调制功率放大器
本发明公开一种负载调制功率放大器,主要针对现有技术中功率放大器实现最佳性能的条件较苛刻的问题。该负载调制功率放大器包括依次串联连接的功率分配电路、功放电路、负载预匹配电路和负载电阻R<Sub>L0</Sub>;其中所述负...
彭亚涛
付军
王玉东
崔杰
崔文普
文献传递
P-MOSFET的TEM研究
被引量:2
1996年
P-MOSFET的TEM研究*刘安生安生邵贝羚王敬付军钱佩信(北京有色金属研究总院,100088北京)(清华大学微电子研究所,100084北京)空穴的迁移率远低于电子迁移率,与N-MOSFET相比P-MOSFET的最大缺点就是电流驱动能力弱。为此,人...
刘安生
安生
邵贝羚
王敬
付军
钱佩信
关键词:
P-MOSFET
TEM
场效应器件
一种片上非等宽螺旋电感计算方法及装置
本发明提供一种片上非等宽螺旋电感计算方法及装置,涉及射频电路设计技术领域。该方法包括:对片上非等宽螺旋电感进行等效处理,得到相等圈数的正多边形闭合共心金属导体,根据片上非等宽螺旋电感的螺旋版图参数和金属相关信息确定正多边...
谢双文
付军
隐埋硅化物抬升外基区全自对准双极晶体管及其制备方法
本发明公开一种隐埋硅化物抬升外基区全自对准双极晶体管及其制备方法,为解决现有产品及方法不能有效减小基极电阻R<Sub>B</Sub>的缺点而发明。本发明隐埋硅化物抬升外基区全自对准双极晶体管的抬升外基区由隐埋低电阻金属硅...
付军
王玉东
崔杰
赵悦
张伟
刘志弘
许平
文献传递
嵌入式外延外基区双极晶体管及其制备方法
本发明公开一种嵌入式外延外基区双极晶体管,为解决现有结构存在TED效应问题而设计。本发明嵌入式外延外基区双极晶体管至少包括重掺杂的埋层集电区、集电区、选择性注入集电区、基区、外基区、发射极以及侧墙,外基区采用原位掺杂选择...
王玉东
付军
崔杰
赵悦
刘志弘
张伟
李高庆
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