黄武
- 作品数：3 被引量：59H指数：2
- 供职机构：中国建筑材料科学研究院更多>>
- 相关领域：化学工程理学电子电信更多>>
- 无机材料超光滑表面的制备被引量：5
- 2003年
- 随着光学、微电子、航天和激光技术的发展,在晶体或玻璃等无机材料上制备亚纳米级的超光滑无损伤表面已成为现代精密加工技术领域的重点研究课题。近年来,此项技术研究进展迅速,不仅改进了传统的抛光技术,还出现了浮法抛光、离子束加工和弹性发射加工等新技术。系统介绍了超光滑表面的检测、制备技术及其发展,并讨论了抛光过程中的机械化学作用机理。
- 周永恒苏英黄武
- 关键词：无机材料超光滑表面抛光机械化学光学器件
- 石英玻璃与HF酸反应动力学的研究被引量：54
- 2004年
- 为控制石英玻璃与HF酸的反应 ,实现石英玻璃精密元件的化学蚀刻 ,系统研究 3类石英玻璃与HF酸反应的动力学过程。研究表明 :石英玻璃与HF酸的反应速度由化学反应控制 ,其中≡Si—O—Si≡网络中Si—O键的断裂决定反应速率 ;影响反应速率的主要因素包括反应温度、HF酸中活性成分与浓度以及石英玻璃结构。Ⅰ类石英玻璃在金属坩埚中熔制 ,金属杂质含量高 ,结构中存在较多缺陷 ,导致反应速率最快 ;而Ⅲ类石英玻璃中羟基含量高是反应速率高于II类石英玻璃的主要原因 ;各类石英玻璃在HF酸中的反应活性依次是Ⅰ >Ⅲ >Ⅱ类。反应过程中 ,HF酸中的活性成分 (HF) 2 或HF- 2 吸附于石英玻璃表面 ,对Si原子产生亲核性侵蚀使Si—O键断裂 ,而H+ 对反应起催化作用。在HF酸高浓度区 (>7mol/L)反应速率快速增长的原因是溶液中生成更多活性较大的 (HF) nF- 离子。
- 苏英周永恒黄武顾真安
- 关键词：石英玻璃氢氟酸动力学反应机理
- 石英玻璃与HF酸反应动力学的研究
- 为精确控制石英玻璃与HF酸的反应过程,实现石英玻璃精密元件的化学刻蚀。系统研究了3类石英玻璃与HF酸的反应动力学过程。研究表明:HF酸对石英玻璃腐蚀过程由化学反应控制,其中Si—O—Si 键的断裂决定了反应速率。影响反应...
- 苏英周永恒黄武顾真安
- 关键词：石英玻璃动力学反应机理
- 文献传递
