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谢玲

作品数：45 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
相关领域：电子电信化学工程自动化与计算机技术文化科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 45篇中文专利

领域

  • 12篇电子电信
  • 4篇化学工程
  • 3篇自动化与计算...
  • 2篇文化科学

主题

  • 17篇波导
  • 12篇光子
  • 8篇氮化硅
  • 8篇光栅
  • 8篇波导结
  • 8篇波导结构
  • 7篇氮化
  • 7篇介质层
  • 7篇绝缘体上硅
  • 7篇光刻
  • 6篇电极
  • 6篇芯片
  • 6篇介质材料
  • 6篇工作性能
  • 6篇光器件
  • 6篇工作性
  • 5篇耦合器
  • 5篇晶体
  • 5篇基底
  • 5篇光刻机

机构

  • 45篇中国科学院微...

作者

  • 45篇谢玲
  • 42篇李志华
  • 38篇唐波
  • 19篇王文武
  • 4篇张青竹
  • 3篇闫江
  • 3篇周章渝
  • 2篇钱鹤
  • 2篇徐秋霞
  • 1篇殷华湘
  • 1篇刘金彪
  • 1篇刘战峰
  • 1篇毛淑娟

年份

  • 1篇2025
  • 3篇2024
  • 6篇2023
  • 8篇2022
  • 20篇2021
  • 3篇2020
  • 2篇2019
  • 1篇2008
  • 1篇2006
共 45 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种芯片
本发明公开了一种芯片，涉及芯片技术领域，用于通过一个光栅耦合器实现在相同的出射角度下对不同波长的寻址激光进行衍射，提高芯片的大规模可扩展性。所述芯片包括：基底、以及设置在基底表面的表面离子阱电极；表面离子阱电极用于在基底...
杨妍孙富君唐波张鹏欧祥鹏刘若男李彬谢玲李志华
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一种氮化硅光栅耦合器及其制备方法、光器件
本发明公开一种氮化硅光栅耦合器及其制备方法、光器件，涉及光器件技术领域，用于提供一种采用低压化学气相淀积法与等离子体增强化学气相沉积相结合的方式有效提升光纤与光芯片的耦合效率的技术方案。氮化硅光栅耦合器包括：衬底；形成在...
李彬李志华谢玲杨妍李东浩唐波张鹏刘若男
表面电极离子阱与硅光寻址及探测器、及架构的集成方法
本发明提供表面电极离子阱与硅光寻址及探测器的集成方法，包括步骤：在晶圆上形成硅光栅和硅结构并对硅结构离子注入及退火；沉积第一介质层于硅结构的上方刻蚀外延窗口并外延硅或锗，离子注入及退火后形成硅基光电探测器；沉积第二介质层...
杨妍李志华王文武谢玲张鹏
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一种光器件
本发明公开了一种光器件，涉及光器件技术领域，用于在加热电极加热过程中，使光波导均匀受热，从而提高光器件的工作性能。该光器件包括：基底和热场调节部。基底具有光波导、以及位于光波导上方的加热电极。加热电极具有镂空区域。热场调...
杨妍唐波张鹏欧祥鹏孙富君李彬刘若男黄凯谢玲刘道群李志华
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一种层间耦合结构及其制备方法
本申请提供一种层间耦合结构及其制备方法，该结构包括：位于衬底上的第一波导；第一介质层覆盖第一波导；位于第一介质层远离衬底一侧的第一层氮化硅结构；第二介质层覆盖第一层氮化硅结构；位于第二介质层远离衬底一侧的第二层氮化硅结构...
李彬李志华唐波杨妍张鹏谢玲刘若男黄凯
利用侧墙转移制作硅基光子器件的方法及硅基光子器件
本发明提供了一种利用侧墙转移制作硅基光子器件的方法及硅基光子器件，该方法包括以下步骤：提供绝缘体上硅衬底；在所述绝缘体上硅衬底上至少沉积一层刻蚀停止层；在所述刻蚀停止层上形成凹槽；沉积第一侧墙材料，以在所述凹槽两侧形成第...
唐波张鹏杨妍李志华刘若男李彬黄凯谢玲王文武
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氮化硅膜的生长方法及厚膜氮化硅波导器件的制备方法
本发明涉及一种氮化硅膜的生长方法及厚膜氮化硅波导器件的制备方法。氮化硅膜的生长方法：在半导体衬底上生长氧化层；在氧化层上刻蚀出多条深槽，每条深槽底部深入半导体衬底内部，并且多条深槽相交将氧化层分成多个区域；然后在氧化层表...
李彬李志华谢玲唐波张鹏杨妍刘若男
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一种栅格形铜电极结构及其制备方法
本发明提供一种栅格形铜电极结构，包括经光刻刻蚀介质层而形成的栅格，以及被栅格分格形成的栅格形铜电极。本发明利用栅格将特征尺寸大于20微米的铜电极分格形成栅格形铜电极，栅格形铜电极包括若干分格区域，而且分格区域的特征尺寸小...
杨妍李志华谢玲张鹏唐波李彬刘若男刘道群
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一种层间耦合结构及其制备方法
本申请提供了一种层间耦合结构及其制备方法，该结构包括：衬底；位于衬底上的第一波导；第一波导位于衬底上的第一区域；位于衬底上的第一介质层，第一介质层覆盖第一波导；位于第一介质层远离衬底一侧的过渡层；位于第一介质层远离衬底一...
李彬李志华唐波杨妍张鹏谢玲刘若男黄凯
一种热光器件及其制造方法
本发明公开了一种热光器件及其制造方法，涉及热光器件技术领域，用于降低加热电极为光波导进行加热时的加热功耗，提高热光器件的工作性能。该热光器件包括：基底，基底包括衬底、以及形成在衬底上的光波导和加热电极；加热电极位于光波导...
杨妍唐波张鹏李彬刘若男李志华谢玲王文武
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