袁庆亮
- 作品数：2 被引量：10H指数：1
- 供职机构：电子科技大学微电子与固体电子学院更多>>
- 发文基金：四川省应用基础研究计划项目国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学电子电信更多>>
- 重掺Al3+对ZnO薄膜光学性能的影响
- 本文利用射频磁控溅射方法,在Si基片和玻璃基片上制备Al3+掺杂浓度10％-40％的ZnO薄膜,并测试了薄膜的透射谱和光致发光谱.随着Al3+掺杂浓度的提高,ZnO薄膜的吸收边向短波长方向蓝移;当Al3+掺杂浓度达到20...
- 袁庆亮李燕李金丽薛书文韦敏邓宏
- 关键词：ZNO薄膜光致发光谱透射谱射频磁控溅射
- 文献传递
- Al浓度对AZO薄膜结构和光电性能的影响被引量：10
- 2007年
- 采用射频溅射方法在Si基片上制备出AZO掺杂薄膜,对薄膜进行了XRD和AFM分析,并对其电性能作了研究。结果表明,掺杂量低于15%(原子分数)时,AZO薄膜结构为纤锌矿结构,呈c轴方向择优生长,没有Al2O3相出现。薄膜的可见光透过率均在80%以上,其最高电阻率出现在掺杂量为30%(原子分数),为1.3×107Ω.cm。
- 李金丽邓宏刘财坤袁庆亮韦敏
- 关键词：AZO薄膜X射线衍射AFM电阻率
