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肖芳

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供职机构：北京有色金属研究总院更多>>
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合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇经济管理

主题

  • 1篇单晶
  • 1篇抛光片
  • 1篇硅单晶
  • 1篇硅单晶抛光片
  • 1篇国际标准化组...
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体材料
  • 1篇半导体设备

机构

  • 1篇北京有色金属...
  • 1篇有色金属技术...

作者

  • 1篇肖芳
  • 1篇石瑛
  • 1篇屠海令
  • 1篇贺东江

传媒

  • 1篇中国集成电路

年份

  • 1篇2002
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
中国半导体材料标准化工作的回顾与展望
2002年
中国半导体材料研究工作起步于1957年,至今,已走过了近半个世纪的发展历程。目前国内从事Si材料研究与生产的单位已有20多家,主要生产厂家及产品种类见表1。近10年来,我国硅单晶产量一直保持着持续增长的势头,到2001年硅单晶及其加工片的产量达400吨,2亿平方英寸,分别比"九五"初期的1996年增长140%和145%。
屠海令石瑛肖芳贺东江
关键词：半导体材料硅单晶抛光片国际标准化组织半导体设备
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