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纪刚
作品数:
3
被引量:2
H指数:1
供职机构:
复旦大学
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相关领域:
电子电信
理学
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合作作者
曹永明
复旦大学材料科学系
李越生
复旦大学材料科学系
宗祥福
复旦大学材料科学系
方培源
复旦大学材料科学系
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Mg在GaP材料中掺杂行为的SIMS分析
本文应用二次离子质谱技术,研究了衬底温度和掺杂气体流量对Mg的掺杂浓度的影响.
曹永明
纪刚
李越生
方培源
宗祥福
关键词:
镁
发光材料
文献传递
Mg在InGaAlP及GaP材料中的掺杂行为
被引量:1
2001年
利用 SIMS分析技术 ,研究了在 In Ga Al P和 Ga P材料中 ,MOCVD工艺参数对 Mg的掺杂行为的影响 .实验结果表明 ,在较高温度下 ,Mg在生长表面的再蒸发决定了 Mg的掺杂浓度随衬底温度增加呈指数下降 ;而当载流子浓度饱和时 ,杂质 Mg在材料中的置换填隙机制使得 Mg的激活率随 Cp2 Mg流量的再增加反而下降 .同时通过计算得到 Mg在 In Ga Al P及 Ga P中的再蒸发激活能分别约为 0 .9e V和 1.1e
纪刚
李越生
曹永明
华铭
关键词:
INGAALP
掺杂
镁
磷化钙
In(GaAl)PLED掺杂工艺和异质结弛豫机制的研究
以InGaAlP为代表的四元化合物作为高亮度发光二极管(LED)材料正在引起广泛的重视.该论文针对高亮度发光二极管(LED)器件与材料,利用二次离子质谱(SIMS)分析手段研究了掺杂元素Mg在InGaAlP和Gap中随衬...
纪刚
关键词:
INGAALP
应变弛豫
欧姆接触
文献传递
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