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潘潇雨

作品数：5 被引量：0H指数：0
供职机构：上海大学更多>>
相关领域：一般工业技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 5篇金刚石薄膜
  • 3篇晶体管
  • 3篇场效应
  • 3篇场效应晶体管
  • 2篇探测器
  • 2篇欧姆接触
  • 2篇欧姆接触电极
  • 2篇无机非金属
  • 2篇无机非金属材...
  • 2篇漏电
  • 2篇漏电流
  • 2篇纳米金刚石薄...
  • 2篇接触电极
  • 2篇金刚石膜
  • 2篇溅射
  • 2篇光电
  • 2篇光电探测
  • 2篇光电探测器
  • 2篇光电探测器件
  • 2篇光电响应

机构

  • 5篇上海大学

作者

  • 5篇潘潇雨
  • 4篇夏义本
  • 4篇唐可
  • 4篇曾庆锴
  • 4篇庄晓凤
  • 4篇王林军
  • 4篇黄健
  • 2篇张继军
  • 2篇刘晟

年份

  • 2篇2013
  • 3篇2012
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
一种基于金刚石薄膜场效应晶体管欧姆接触电极的制备方法
本发明涉及一种基于金刚石薄膜场效应晶体管欧姆接触电极的制备方法。属于金刚石膜场效应晶体管器件制造工艺技术领域。本发明的要点是利用磁控溅射和离子溅射方法在金刚石薄膜上沉积制备Ti-Pt-Au三层金属体系，并在氮气气氛下退火...
王林军庄晓凤曾庆锴潘潇雨黄健唐可张继军夏义本
文献传递
ZnO/纳米晶金刚石薄膜异质结光电探测器的制备方法
本发明涉及一种基于ZnO/纳米金晶刚石薄膜异质结光电探测器的制备方法，属于无机非金属材料器件制造工艺领域。本发明主要特点在于采用高导电率的氢终端纳米金刚石薄膜作为p型层，并在此层上制备高质量的n型ZnO薄膜，从而得到Zn...
王林军潘潇雨曾庆锴庄晓凤刘晟黄健唐可夏义本
文献传递
ZnO/纳米晶金刚石薄膜异质结光电探测器的制备方法
本发明涉及一种基于ZnO/纳米晶金刚石薄膜异质结光电探测器的制备方法，属于无机非金属材料器件制造工艺领域。本发明主要特点在于采用高导电率的氢终端纳米金刚石薄膜作为p型层，并在此层上制备高质量的n型ZnO薄膜，从而得到Zn...
王林军潘潇雨曾庆锴庄晓凤刘晟黄健唐可夏义本
氢终端金刚石薄膜热稳定性及场效应晶体管制备工艺研究
潘潇雨
关键词：热稳定性X射线光电子能谱
一种基于金刚石薄膜场效应晶体管欧姆接触电极的制备方法
本发明涉及一种基于金刚石薄膜场效应晶体管欧姆接触电极的制备方法。属于金刚石膜场效应晶体管器件制造工艺技术领域。本发明的要点是利用磁控溅射和离子溅射方法在金刚石薄膜上沉积制备Ti-Pt-Au三层金属体系，并在氮气气氛下退火...
王林军庄晓凤曾庆锴潘潇雨黄健唐可张继军夏义本
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