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涂德钰

作品数:66 被引量:11H指数:2
供职机构:中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金:国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域:电子电信一般工业技术自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 56篇专利
  • 8篇期刊文章
  • 1篇学位论文
  • 1篇会议论文

领域

  • 8篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 22篇纳米
  • 19篇分子
  • 18篇微电子
  • 14篇刻蚀
  • 13篇微电子学
  • 13篇光刻
  • 11篇电极
  • 10篇有机半导体
  • 10篇金属
  • 10篇抗蚀剂
  • 10篇交叉线
  • 10篇分子电子学
  • 10篇半导体
  • 8篇电子束光刻
  • 8篇有机分子
  • 8篇微细
  • 8篇微细加工
  • 8篇场效应
  • 7篇电子器件
  • 7篇纳米压印

机构

  • 66篇中国科学院微...
  • 1篇中国科学院

作者

  • 66篇涂德钰
  • 65篇刘明
  • 38篇商立伟
  • 28篇王丛舜
  • 23篇谢常青
  • 18篇刘兴华
  • 17篇刘舸
  • 11篇陈宝钦
  • 11篇龙世兵
  • 10篇贾锐
  • 9篇甄丽娟
  • 7篇刘新华
  • 6篇李维龙
  • 5篇刘琦
  • 5篇姬濯宇
  • 5篇王琴
  • 3篇陈晨
  • 3篇易里成荣
  • 3篇牛洁斌
  • 3篇王慰

传媒

  • 3篇Journa...
  • 2篇物理
  • 1篇微电子学
  • 1篇微细加工技术
  • 1篇微纳电子技术
  • 1篇第十五届全国...

年份

  • 1篇2012
  • 5篇2011
  • 7篇2010
  • 24篇2009
  • 11篇2008
  • 13篇2007
  • 4篇2006
  • 1篇2005
66 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
用于电子束光刻剥离的去除双层胶的方法
本发明公开了一种用于电子束光刻剥离的去除双层胶的方法,包括:清洗基片,烘干;在基片上旋涂LOR型抗蚀剂作为双层胶的底层胶,烘干;在LOR层上旋涂ZEP520型电子束抗蚀剂作为顶层胶,前烘;电子束光刻,对顶层胶进行曝光;对...
涂德钰刘明谢常青刘新华商立伟
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一种交叉线阵列结构有机分子器件的制备方法
一种交叉线阵列结构有机分子器件的制备方法,其工艺步骤如下:1.在基片表面上淀积氮化硅薄膜;2.在氮化硅薄膜表面上旋涂抗蚀剂,光刻得到电极图形;3.利用抗蚀剂掩蔽刻蚀氮化硅薄膜;4.蒸发、剥离金属得到交叉线下电极;5.生长...
涂德钰王从舜刘明
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利用多层侧墙技术制备纳米压印模版的方法
一种利用多层侧墙技术制备纳米压印模版的方法,其工艺步骤如下:1.在透光基片上淀积一层结构薄膜;2.淀积另外一种材料作为第二层结构薄膜;3.根据线条设计要求重复步骤1和2;4.采用化学机械平坦化或研磨等方法抛光基片表面,得...
涂德钰王丛舜刘明
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应用于有机电路的双金属电极结构及其制备方法
本发明公开了一种应用于有机电路的双金属电极结构,该结构由有机半导体薄膜、第一层金属薄膜和沉积在该第一层金属薄膜上的第二层金属薄膜构成。对于顶接触式器件结构,该第一层金属薄膜为高功函数金属薄膜,该第二层金属薄膜为廉价金属薄...
商立伟刘明涂德钰甄丽娟刘舸刘兴华
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一种紫外固化纳米压印模版的制备方法
本发明属于微电子学与纳米电子学中的微纳加工领域,特别涉及一种紫外固化纳米压印模版的制备。其工艺步骤如下:1.在透光基片上淀积一层易于刻蚀的薄膜;2.旋涂抗蚀剂;3.淀积一层导电薄膜;4.光刻、显影得到模版图形;5.以抗蚀...
涂德钰王丛舜刘明
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纳米压印和光学光刻匹配混合的声表面波器件制备方法
一种采用纳米压印和光学光刻匹配混合的声表面波器件制备方法,其工艺步骤如下:1.在压电基片上旋涂压印胶;2.制备含有声表面波器件叉指图形和对准标记的压模并对其表面进行防粘连处理;3.将压模压入压印胶中,通过加热、加压或紫外...
王丛舜牛洁斌涂德钰谢常青陈宝钦刘明
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金属环形栅有机晶体管结构及其制备方法
本发明公开了一种金属环形栅有机晶体管结构,该结构包括:绝缘衬底、在该绝缘衬底表面制备的环形栅电极、在该绝缘衬底表面及环形栅电极上制备的栅介质层、在栅介质层上制备的有机半导体层,以及在该有机半导体层圆形表面制备的圆形源电极...
商立伟刘明涂德钰甄丽娟刘舸刘兴华
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一种制备交叉分子电子器件的方法
本发明涉及微电子学与分子电子学中的微细加工技术领域,公开了一种制备交叉分子电子器件的方法,包括:在基片上淀积一层绝缘介质;在该绝缘介质层上旋涂抗蚀剂,在该抗蚀剂上光刻出交叉结构图形;利用抗蚀剂作为掩蔽刻蚀该绝缘介质层,将...
涂德钰刘明商立伟刘新华谢常青
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一种结合压印技术制备各向异性有机场效应管的方法
本发明属于有机半导体学中的微细加工领域,特别涉及一种结合压印技术制备各向异性有机场效应管的方法。其步骤如下:1.在导电基底上制备绝缘介质层;2.在绝缘介质层薄膜表面上沉积生长第一层有机半导体薄膜;3.利用模板压印有机薄膜...
商立伟涂德钰王丛舜刘明
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One-Time Programmable Metal-Molecule-Metal Device
2008年
A one-time programmable metal-molecule-metal device, with a modified Rotaxane LB film as the functional layer, is proposed for potential use in organic programmable and fault tolerant circuits like inorganic anti-fuse devices used in field programmable gate arrays. All fabrication methods involved are low temperature processes, ensuring that this device can be integrated with other organic devices. Electrical measurements show that this device has a good one-time programming capability. Its break down voltage is 2.2V, off-state resistance is 15kΩ, and on-state resistance is 54Ω These characteristics come from the penetration of metal atoms into molecular film under high electronic field.
商立伟刘明涂德钰甄丽娟刘舸
关键词:FPGAROTAXANEPROGRAMMABLE
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