李铁军
- 作品数:28 被引量:119H指数:7
- 供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
- 发文基金:国家高技术研究发展计划国家自然科学基金陕西省自然科学基金更多>>
- 相关领域:电子电信理学一般工业技术机械工程更多>>
- 4.9W掺Yb^(3+)双包层光纤激光器及其输出特性研究被引量:24
- 2003年
- 报道了输出波长为 1110nm、最大输出功率 4.9W、光束质量接近衍射极限的连续波掺Yb3+双包层光纤激光器。实验采用矩形内包层的石英掺Yb3+双包层光纤 ,抽运源为中心波长在 910nm附近的半导体激光器 ,当抽运光功率为 12W时 ,获得了 4.9W的激光输出 ,斜率效率为 43.6 %。
- 周军楼祺洪李铁军董景星魏运荣王之江
- 关键词:双包层光纤光纤激光器
- 一种可用于XeCl准分子激光传输的新型金属光波导的研究
- 2001年
- 研究了一种由表面镀铝的磷青铜作为反射面的矩形型波导传输紫外光束的性能。实验结果表明 ,这种波导能够有效地传输 30 8nm紫外光束 ,传输率可达 72 % m。充入氦气能有效地提高紫外光束的传输率。并对于不同弯曲程度对波导损耗的影响以及如何提高波导传输率 ,降低弯曲损耗进行了分析。
- 雷博楼祺洪董景星魏运荣黄峰李铁军章琳
- 关键词:XECL准分子激光传输率
- 百焦耳级XeCl准分子激光辐照靶材的光学诊断被引量:2
- 1996年
- 在百焦耳级XeCl准分子激光器上,开展了强紫外激光辐照LY—12铝靶和碳纤维靶的光学诊断实验。研究了靶面对激光的反射系数随入射激光功率密度的变化规律,获得了激光等离子体光谱及蒸汽羽积分图象等实验结果。
- 甘雨刚刘晶儒袁孝易爱平王龙华胡志云刘建胜李铁军王丽戈
- 关键词:等离子体光谱光学诊断
- 百焦耳级KrF准分子激光实验
- 1996年
- 介绍闪光Ⅱ号加速器泵浦的百焦耳级氟化氢激光研制情况,给出了激光器的构造和主要性能。在二极管电压为840kV,电流为200KA条件下,获得了157J的最大激光能量,峰值功率为2.0GW。研究了激光输出能量随F2和Kf气体浓度的变化规律.
- 刘晶儒袁孝甘雨刚赵学庆易爱平王龙华胡志云刘建胜黄梅生李铁军魏燕明
- 关键词:准分子激光电子束泵浦激光实验氟化氪
- LD抽运Nd:YAG板状激光器介质温度特性的实验研究
- 对研究了LD抽运Nd:YAG板状激光器介质的温度特性.利用热像仪测量,给出了板状激光介质在不同抽运电流下温度分布的热像图和定性分析.指出热像仪测量是一种可行的测量实际冷却效果的方法.
- 方爱平楼祺洪董景星魏运荣李铁军黄峰章琳
- 关键词:温度特性激光二极管抽运激光介质
- 文献传递
- 激光消蚀硬质合金表面涂覆超硬涂层金属钴粘结相的方法
- 一种激光消蚀硬质合金表面涂覆超硬涂层金属钴粘结相的方法,它的目的主要在于选择性地去除硬质合金表面地粘结相金属,同时保留表面硬质相碳化物晶粒。这种方法主要包括利用适当能量地脉冲激光经过光学传输系统照射在硬质合金表面,根据硬...
- 楼祺洪李铁军董景星魏运荣
- 文献传递
- 脉冲准分子激光淀积薄膜的实验研究被引量:16
- 2002年
- 利用两种脉宽 (30ns,5 0 0fs)的KrF准分子激光展开了淀积类金刚石薄膜的实验研究 ,并且成功地制备了大面积不含氢成分的HF DLC薄膜 ,运用时空分辨的等离子体发射光谱诊断系统和离子探针系统研究了等离子体特性对薄膜性能的影响。尝试了利用准分子激光制备非晶硅薄膜 ,研究了实验参数对非晶硅薄膜制备的影响 。
- 刘晶儒白婷姚东升李铁军王丽戈袁孝王晟叶锡生
- 关键词:准分子激光脉冲激光淀积类金刚石薄膜非晶硅薄膜
- 准分子激光直接刻蚀单晶硅研究被引量:6
- 2000年
- 与传统的投影曝光微细加工方法相比 ,激光直写具有高柔性、低成本和胜任三维微型结构加工的优点。采用非稳腔的聚焦准分子激光 ( Kr F,λ=2 4 8nm)对单晶硅材料进行直接刻蚀 ,从微结构刻蚀的形状尺寸及加工过程的热效应等方面研究了准分子激光直接刻蚀单晶硅的加工特性。重点考察了加工中的热效应 ,研究表明准分子激光与被加工材料的相互作用并非完全基于非热机理 ,加工过程亦有热作用参与 ,进一步提出了准分子激光刻蚀加工的“热影响区”概念用以评价和解释准分子激光的“冷加工”特性。同时观察分析了脉冲激光对硅基底造成的破坏现象 ,讨论了冲击作用的成因。
- 马炳和苑伟政李铁军李晓莹王丽戈
- 关键词:准分子激光单晶硅热影响区
- 高功率同轴抽运宽带拉曼放大被引量:2
- 2001年
- 研究了在宽带条件下非聚焦的同轴拉曼放大 ,采用CH4 作为放大拉曼介质 ,抽运源为 2 48nm的高功率KrF准分子激光系统 ,最高抽运能量为 1 5J。给出了拉曼链一级放大器的级增益随小信号增益系数及放大器气压的变化。最后讨论了限制同轴宽带抽运拉曼放大的因素。
- 雷博楼棋洪董景星魏运荣黄峰李铁军章琳
- 关键词:宽带光束质量拉曼放大激光
- 准分子激光刻蚀聚合物微图形制作研究被引量:6
- 2002年
- 主要描述了紫外准分子激光刻蚀聚酰亚胺 (polyimide ,PI)制作微图案实验。通过这种刻蚀方法 。
- 章琳楼祺洪魏运荣董景星李铁军黄峰
- 关键词:刻蚀PI聚酰亚胺