曾旭初
- 作品数：16 被引量：40H指数：3
- 供职机构：中国核工业集团公司核工业西南物理研究院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信金属学及工艺自动化与计算机技术电气工程更多>>
- 直流等离子体浸没式离子注入
- 在SOI材料的制备技术中,为了减少离子的浪费和提高注入能量,避免采用更大的真空室和高压脉冲调制器,本文提出了直流等离子体浸没式离子注入技术,并对其原理进行探讨.
- 曾旭初核工业西南物理研究院粒子注入中心香港进科研发有限公司郭达勤傅劲裕朱剑豪许泽金陈庆川童洪辉
- 关键词：离子注入SOI材料
- 文献传递
- 采用接地导电栅网的直流等离子体离子注入装置
- 一种直流等离子体离子注入装置,包括:真空室,等离子体产生器,安装在所述真空室内的靶台和高压电源,其特征是:所述真空室呈圆盘状,具有工作气体的进行口和抽气口;一个导电栅网,配置在所述靶台的上方将真空室分成两个部分,并且所述...
- 朱剑豪郭达勤曾旭初陈聪
- 文献传递
- 高功率脉冲电源的研制被引量：9
- 2011年
- 高功率脉冲磁控溅射以其高离化率、高薄膜性能等特点得到广泛关注。介绍了高功率脉冲电源系统的原理和研制,提出了基于全桥逆变、电容储能、均流斩波等环节实现电源的方案,分别阐述了主回路、控制系统、保护电路的设计思路。电源系统采用全桥逆变实现初级能源,电容储能实现中间能源,均流斩波实现功率输出,单片机和SG3525实现控制部分。实验结果证明电源运行可靠,输出特性良好,抗干扰能力强。
- 贺岩斌王志鹏曾旭初
- 关键词：高功率脉冲电源
- 在等离子体源离子注入中靶周围等离子体的行为被引量：1
- 1994年
- 在等离子体源离子注入（ＰＳＩＩ）中，将待处理的工件直接放在等离子体内，并在工件上按一定的占空比加脉冲连续式负偏压。我们通过计算，分析了在工件未加负偏压时等离子体对工件的作用；并给出了在工件加上负偏压时注入工件的离子能量的简化分布模型。最后计算了在负偏压脉冲持续时间内离子阵鞘层边界的扩展。本文为研究和数值模拟ＰＳＩＩ过程提供了参考依据。
- 王惠三陈开芹李家全曾旭初邢大中耿漫尚振魁
- 关键词：等离子体源离子注入表面改性
- 一种新型的ZCS PWM半桥变换器(英文)
- 2005年
- 阐述了零电流开关(ZCS)技术在半桥变换器电路中的应用。从电路原理、各工作模态进行了分析,并给出了实验结果。着重分析了主开关管和辅助开关管零电流开通和关断的过程及实现条件。该电路主要针对存在拖尾电流的IGBT设计,可以提高IGBT的工作频率。
- 李自成刘平袁保山曾旭初
- 关键词：零电流开关半桥变换器IGBT
- 内表面离子注入装置
- 一种等离子体浸没的内表面离子注入装置,包括:真空室,等离子体产生器,安装于真空室内的筒状体,以及靶台,其中一个辅助电极沿所述筒状体内的轴线配置,并且所述辅助电极的两端同所述真空室壁连接;一个导电棒,将所述筒状体支撑固定在...
- 朱剑豪刘爱国曾旭初
- 文献传递
- 采用接地导电栅网的直流等离子体离子注入装置
- 一种直流等离子体离子注入装置，包括：真空室，等离子体产生器，安装在所述真空室内的靶台和高压电源，其特征是：所述真空室呈圆盘状，具有工作气体的进气口和抽气口；一个导电栅网，配置在所述靶台的上方将真空室分成两个部分，并且所述...
- 朱剑豪郭达勤曾旭初陈聪
- 文献传递
- 多功能全方位增强沉积型离子注入机
- 本实用新型提供一种多功能全方位增强沉积型离子注入机，它包括等离子体工件室(亦即真空室)以及与其相连的离子注入电源系统，等离子体产生系统，真空抽气系统，控制、测量系统，工作气体馈送系统和冷却系统组成。该装置通过热丝阴极放电...
- 尚振魁陈升芹曾旭初王惠三
- 文献传递
- 用于材料表面改性的多功能等离子体浸没离子注入装置被引量：18
- 1997年
- 详细叙述了新近研制的多功能等离子体浸没离子注入（ＰＩＩ）装置．在装置设计中，考虑了等离子体产生手段、高压脉冲电源和真空抽气系统多项功能要求，把离子注入、涂敷和溅射沉积结合起来．该装置已实现了多种气体等离子体注入、气－固离子混合与注入、金属等离子体沉积与注入、离子束混合与离子束增强沉积等，以满足不同材料制成的不同零件对多种表面处理工艺的需要．初步应用结果证明，该装置对于改进４５号钢、Ｔｉ６Ａｌ４Ｖ和Ｃｒ４Ｍｏ４Ｖ合金的抗磨损与抗腐蚀是很有效的。
- 王松雁汤宝寅孙剑飞王小峰朱剑豪曾旭初
- 关键词：等离子体离子注入表面改性离子注入机
- 单端正激电源的系统建模和控制设计被引量：1
- 2009年
- 本文采用状态空间平均和线性化方法对单端正激电源主电路建立交流小信号模型,并画出其不同负载条件下开环传递函数的bode图,作为运用经典控制理论进行电源设计的基础。然后对照开关电源理想开环传递函数幅频特性要求,针对低频、中频、高频三个频段特性,分别选择控制策略,设计控制器参数,改善电源系统的稳态和动态特性。最后选择简单易行的实际控制电路,实现了一个性能优良的开关电源系统,达到理论指导设计的目的。
- 朱昆林廖志清曾旭初
- 关键词：BODE图
