彭春荣
- 作品数：105 被引量：122H指数：7
- 供职机构：中国科学院电子学研究所更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金中国航空科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电气工程文化科学电子电信更多>>
- 非接触式动态心电监测系统
- 本发明提供了一种非接触式动态心电监测系统，包括：N个非接触心电检测电极(N≥2)和电子单元，所述非接触心电检测电极由内向外包括：心电感应电极、有源保护驱动环、接地屏蔽环，其相互之间设有绝缘支撑构件；电子单元通过N根连接引...
- 任仁夏善红彭春荣郑凤杰李冰陈博吕曜陈贤祥
- 热驱动微型电场传感器
- 本文提出了一种新型的热驱动微型电场传感器,该微型电场传感器采用MUMPs表面微细加工工艺加工,主要包括屏蔽电极、感应电极和热驱动结构三部分.其工作原理属于电荷感应式,用接地的屏蔽电极的周期运动来调制感应电极上在外部电场作...
- 陈贤祥彭春荣白强陈绍凤夏善红
- 关键词：微型电场传感器热驱动有限元模拟微细加工
- 文献传递
- 基于旋转谐振结构的单芯片二维电场传感器被引量：7
- 2016年
- 提出并研制了一种二维电场检测传感芯片,将四个电场测量微型单元和旋转式驱动微结构集成在3.5 mm×3.5 mm的敏感结构上,实现了单芯片的电场二维测量。介绍了传感器的工作原理、敏感结构的设计,以及基于绝缘体上硅(SOI)工艺的单芯片微型二维电场传感器制备工艺技术。成功研制出传感器原理样机,研究了微型二维电场传感器的标定方法,开发了用于电场二维标定的测试装置,并在室温常压下对传感器进行了二维标定。实验结果表明:该传感器能够有效减小电场的轴间耦合干扰,测量误差优于7.04%,线性度可达到1.25%。
- 王宇方东明陈博彭春荣夏善红
- 关键词：电场传感器
- 异型电极微型电场传感器
- 本发明的一种异型电极微型电场传感器，涉及传感器技术，传感器敏感结构包括衬底、激励单元、屏蔽电极、电场感应电极、锚点等部分。其中，激励单元包括激励电极和支撑梁，对称布置在传感器敏感结构的两侧；屏蔽电极和电场感应电极交错排列...
- 夏善红杨鹏飞彭春荣
- 一种三维空中电场传感器
- 本发明公开了一种三维空中电场传感器，包括接地的屏蔽电极、感应电极支撑架、三个方向正交的感应电极和相应的信号检测电路，屏蔽电极和感应电极支撑架是四棱柱结构，屏蔽电极外壳上X、Y、Z方向开有多个小孔，感应电极支撑架位于屏蔽电...
- 陈贤祥夏善红任仁彭春荣郑凤杰
- 低轴间耦合的MEMS三维电场传感器被引量：2
- 2018年
- 轴间耦合干扰是影响3维电场传感器测量准确性的重要因素。该文提出了一种低耦合干扰的MEMS 1维电场敏感芯片,并将3个上述的芯片正交组合研制出一款低轴间耦合的MEMS 3维电场传感器。不同于已见报道的测量垂直方向电场分量的MEMS 1维电场敏感芯片,该文提出的芯片采用轴对称设计,在差分电路的配合下能够测量垂直于对称轴方向的面内电场分量,并能够消除正交于测量轴方向的电场分量的耦合干扰。该MEMS 3维电场传感器具尺寸小和集成度高等优点。实验结果表明在0~120 k V/m电场强度范围内,该MEMS 3维电场传感器的轴间耦合灵敏度小于3.48%,3维电场测量误差小于7.13%。
- 凌必赟彭春荣任仁储昭志张洲威雷虎成夏善红
- 关键词：MEMS电场传感器
- 基于微组装的三棱结构微型三维电场传感器及制备技术
- 本发明提供一种基于微组装的三棱结构微型三维电场传感器，包括至少三个电场敏感单元，布置于三个基底(5)上，分别用于测量电场X方向、Y方向和Z方向的分量；三个基底(5)构成三棱结构；每个基底(5)设有对应的引线底座(6)，引...
- 夏善红凌必赟彭春荣任仁郑凤杰
- 阵列式微型电场传感器
- 一种阵列式微型电场传感器，由复数个微型电场传感器组成，每个微型电场传感器，包括屏蔽电极、正感应电极、负感应电极和驱动单元，其特征在于，还包括I－V转换单元与求和放大单元，其中，复数个微型电场传感器，各自在输出端接一I－V...
- 陈绍凤陈贤祥白强彭春荣夏善红
- 文献传递
- 静电梳齿激励差分检测式微型电场传感器
- 一种静电梳齿激励、差分检测式微型电场传感器，包括：静电梳齿激励部分、屏蔽电极、正感应电极和负感应电极、支撑梁部分和固定锚点等几部分。正感应电极和负感应电极既可以位于屏蔽电极的下方，也可以位于接地屏蔽电极的同一平面内，通过...
- 夏善红彭春荣白强陈绍凤
- 文献传递
- 基于MEMS技术的非接触式人体静电测量装置被引量：5
- 2017年
- 为解决传统非接触式静电仪工作时振动或旋转部件裸露在外,无法在静电高危区域使用,难以测量运动人体带电情况等难题,该文研制出基于MEMS电场传感器的非接触式静电测量装置。提出一种新型检测电极与敏感芯片相连结构,显著增大了电场感应面积,增强了灵敏度。设计11个检测电极分布式布置形成门体结构,成功实现人体头、肩、臂、手、腿、脚部位在运动过程中带电情况的同时测量。基于金属仿真带电人体,提出模拟应用现场的标定方法,准确实现了静电安检门的标定。该静电测量装置具有无裸露可动部件、安全性高、环境适应性强等突出优点,满足粉尘浓度高、易燃油气浓度高等恶劣环境下的使用需求。试验结果表明,该装置测量范围为-30~30k V,分辨力优于50 V,总不确定度优于3%。
- 闻小龙彭春荣杨鹏飞陈博夏善红
- 关键词：微机械电子系统电场传感器非接触静电测量
