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文献类型

  • 4篇中文专利

主题

  • 3篇电子枪
  • 3篇真空镀膜
  • 3篇蒸发舟
  • 3篇磁控溅射靶
  • 2篇真空
  • 2篇真空测量
  • 1篇挡板
  • 1篇灯管
  • 1篇多层膜
  • 1篇石英
  • 1篇内置
  • 1篇腔体
  • 1篇加热器
  • 1篇长腔

机构

  • 4篇北京有色金属...

作者

  • 4篇冯彬
  • 4篇古宏伟
  • 4篇刘慧舟
  • 4篇杨坚
  • 4篇马平
  • 4篇金振奎
  • 4篇屈飞

年份

  • 1篇2009
  • 1篇2007
  • 2篇2006
4 条 记 录,以下是 1-4
排序方式:
连续镀膜装置用加热器
本实用新型公开了一种连续镀膜装置用加热器,它包括:一由外围板围合的腔体,侧面开轴向通口,内置一组加热灯管。长腔体内的前、后及上侧均设有一层以上的挡板。在加热灯管下侧设一可抽拉的石英挡板。在加热器的固接一用于与外界固定的支...
杨坚古宏伟冯彬金振奎刘慧舟屈飞马平
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一种多功能连续镀膜装置
本实用新型公开了一种多功能连续镀膜装置,由真空镀膜单元装置、泵抽系统、气路及控制系统组成,所述的真空镀膜单元装置包括一真空镀膜室,其下方布控有电子枪、热蒸发电极,下侧方设立一对磁控溅射靶;还配有一基带卷绕系统,该基带卷绕...
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多功能真空连续镀膜装置
本发明公开了一种多功能真空连续镀膜装置,由真空镀膜室、泵抽及真空测量系统、气路及控制系统和控制各单元装置电源开关的电控系统组成,所述的气路及控制系统的各气路接入真空镀膜室,所述真空镀膜室内布控有电子枪、热蒸发电极和磁控溅...
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多功能真空连续镀膜装置
本发明公开了一种多功能真空连续镀膜装置,由真空镀膜室、泵抽及真空测量系统、气路及控制系统和控制各单元装置电源开关的电控系统组成,所述的气路及控制系统的各气路接入真空镀膜室,所述真空镀膜室内布控有电子枪、热蒸发电极和磁控溅...
杨坚古宏伟冯彬金振奎刘慧舟屈飞马平
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共1页<1>
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