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余晓光

作品数：1 被引量：8H指数：1
供职机构：井冈山学院更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇灯丝
  • 1篇电阻
  • 1篇碳化
  • 1篇金刚石
  • 1篇金刚石薄膜
  • 1篇刚石

机构

  • 1篇湖南大学
  • 1篇井冈山学院

作者

  • 1篇余晓光
  • 1篇周灵平
  • 1篇李宇农
  • 1篇孙心瑗

传媒

  • 1篇粉末冶金工业

年份

  • 1篇2005
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
热丝CVD法沉积金刚石薄膜用灯丝研究现状及改进被引量：8
2005年
热丝化学气相(CVD)法沉积金刚石具有其它沉积方法所无法比拟的优势而受到重视,然而在高温沉积过程中灯丝容易发生形变和挥发所带来的“污染”影响了金刚石沉积膜的质量,本文就热丝法中三种常用灯丝(钨丝、钼丝和铼丝)的高温行为的研究现状进行了综合评述。在此基础上,提出了钽丝表面包钨的新实验,以进一步指导热丝CVD法沉积高质量的金刚石。
孙心瑗周灵平李宇农余晓光
关键词：金刚石灯丝碳化电阻
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