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肖璇
作品数:
15
被引量:1
H指数:1
供职机构:
电子科技大学
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相关领域:
电子电信
化学工程
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合作作者
李泽宏
电子科技大学
张超
电子科技大学
余士江
电子科技大学
李婷
电子科技大学
谢加雄
电子科技大学
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半导体功率器...
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机构
15篇
电子科技大学
作者
15篇
肖璇
14篇
李泽宏
13篇
张超
7篇
姜贯军
7篇
谢加雄
7篇
李婷
7篇
余士江
5篇
吴宽
5篇
张波
5篇
任敏
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张帅
2篇
胡涛
2篇
夏小军
2篇
张硕
2篇
钱振华
2篇
张蒙
2篇
赵起越
2篇
刘小龙
2篇
谢家雄
1篇
李吉
年份
1篇
2013
6篇
2012
8篇
2011
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一种功率器件衬底背面的离子注入方法
一种功率器件衬底背面的离子注入方法,属于半导体功率器件技术领域。本发明在完成功率器件正面工艺步骤后,在完成离子注入(离子注入之前可对衬底背面进行减薄或不减薄处理)和离子激活后,不像传统工艺直接进行金属铝层淀积,而是采用腐...
李泽宏
肖璇
张超
吴宽
谢加雄
李婷
刘小龙
3300VPlanar IGBT的仿真分析与设计
绝缘栅双极型晶体管(IGBT)是一种应用成熟、应用领域宽广的新型半导体功率器件。国外主要IGBT厂商的技术已经过了六代产品的更迭,而目前国内IGBT的研发与制作才处于刚起步阶段。基于本实验室与国内某知名半导体公司合作研发...
肖璇
关键词:
绝缘栅双极型晶体管
系统设计
建模仿真
一种低压埋沟VDMOS器件
一种低压埋沟VDMOS器件,属于半导体器件技术领域。本发明利用掩埋层沟道结构大大降低了沟道电阻,并且金属氧化物半导体结构的栅氧化层非常薄,利用金属氧化物半导体结构表面电场效应,栅源极间加正向电压时形成积累层而加反向电压时...
李泽宏
姜贯军
余士江
李婷
谢加雄
任敏
李吉
肖璇
张波
文献传递
一种改进的平面绝缘栅双极型晶体管
一种改进的平面绝缘栅双极型晶体管,属于半导体功率器件技术领域。本发明在传统平面非穿通型绝缘栅双极型晶体管中引入体电极结构,所述体电极结构位于两个P型基区5之间的N-漂移区中,由体电极二氧化硅氧化层所包围的和凹槽型多晶硅体...
李泽宏
张超
张蒙
赵起越
肖璇
一种功率器件背面热退火时对正面金属图形的保护方法
一种功率器件背面热退火时对正面金属图形的保护方法,属于半导体功率器件技术领域。本发明在完成功率器件正面制作工艺之后,先在功率器件正面金属图形表面涂覆一层有机硅树脂,有机硅树脂经预热固化之后,再进行功率器件背面制作工艺,待...
李泽宏
张超
杨文韬
单亚东
肖璇
吴宽
一种增强型平面绝缘栅双极型晶体管
一种增强型平面绝缘栅双极型晶体管,属于半导体功率器件技术领域。本发明在现有增强增强型平面绝缘栅双极型晶体管基础上,引入一个由P<Sup>+</Sup>体区和槽型金属化发射极构成的空穴旁路结构;在传统平面非穿通型绝缘栅双极...
李泽宏
张超
肖璇
吴宽
姜贯军
余士江
谢家雄
文献传递
一种功率器件衬底背面的离子注入方法
一种功率器件衬底背面的离子注入方法,属于半导体功率器件技术领域。本发明在完成功率器件正面工艺步骤后,在完成离子注入(离子注入之前可对衬底背面进行减薄或不减薄处理)和离子激活后,不像传统工艺直接进行金属铝层淀积,而是采用腐...
李泽宏
肖璇
张超
吴宽
谢加雄
李婷
刘小龙
文献传递
一种非外延高压BCD器件的制备方法
一种非外延高压BCD器件的制备方法,属于半导体技术领域中的半导体制造技术。本发明提供一种在同一硅片上集成高压DMOS、高压采样器件SensorFET、低压BJT、低压CMOS、低压DMOS、MOS电容和阱电容、阱电阻以及...
李泽宏
姜贯军
余士江
谢加雄
张帅
胡涛
李婷
张超
任敏
肖璇
张波
文献传递
一种改进的平面绝缘栅双极型晶体管
一种改进的平面绝缘栅双极型晶体管,属于半导体功率器件技术领域。本发明在传统平面非穿通型绝缘栅双极型晶体管中引入体电极结构,所述体电极结构位于两个P型基区(5)之间的N<Sup>-</Sup>漂移区中,由体电极二氧化硅氧化...
李泽宏
张超
张蒙
赵起越
肖璇
文献传递
一种增强型平面绝缘栅双极型晶体管
一种增强型平面绝缘栅双极型晶体管,属于半导体功率器件技术领域。本发明在现有增强增强型平面绝缘栅双极型晶体管基础上,引入一个由P<Sup>+</Sup>体区和槽型金属化发射极构成的空穴旁路结构;在传统平面非穿通型绝缘栅双极...
李泽宏
张超
肖璇
吴宽
姜贯军
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