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祝江平
作品数:
1
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供职机构:
北京师范大学核科学与技术学院射线束技术与材料改性实验室
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发文基金:
教育部科学技术研究重点项目
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
一般工业技术
金属学及工艺
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合作作者
程国安
北京师范大学核科学与技术学院射...
郑瑞廷
北京师范大学核科学与技术学院射...
吴晓玲
北京师范大学核科学与技术学院射...
艾利娟
北京师范大学核科学与技术学院射...
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1篇
弹性模量
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机构
1篇
北京师范大学
作者
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祝江平
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吴晓玲
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郑瑞廷
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程国安
传媒
1篇
北京师范大学...
年份
1篇
2011
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Fe/Cu纳米多层薄膜中内应力对其力学性能的影响
2011年
利用直流磁控溅射方法制备了Fe/Cu纳米多层膜,使用扫描电子显微镜(SEM)、薄膜应力分布测试仪和纳米压痕技术研究了不同周期结构Fe/Cu纳米多层薄膜的内应力及其纳米力学性能.在Fe/Cu纳米多层薄膜中,由于铁和铜的结构和本征性能的差异,形成多层膜结构后存在张应力,其张应力在周期T=10时达到910.08 MPa,对应的纳米硬度为12.3 GPa.随着多层薄膜调制周期数T的增加而内应力逐渐降低,纳米硬度和弹性模量随着张应力缓释也出现下降.根据纳米薄膜内应力对其力学性能的影响,探讨了内应力与薄膜纳米力学性能的相关性.
艾利娟
祝江平
吴晓玲
郑瑞廷
程国安
关键词:
内应力
弹性模量
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