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王俊

作品数：1 被引量：4H指数：1
供职机构：北京工业大学电子信息与控制工程学院更多>>
发文基金：北京市自然科学基金国家自然科学基金北京市教委资助项目更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇质子注入
  • 1篇局域寿命控制
  • 1篇汲取
  • 1篇功率二极管
  • 1篇二极管
  • 1篇铂

机构

  • 1篇北京工业大学
  • 1篇清华大学

作者

  • 1篇王俊
  • 1篇亢宝位
  • 1篇贾云鹏
  • 1篇张斌

传媒

  • 1篇固体电子学研...

年份

  • 1篇2004
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
高压功率二极管中局域铂掺杂寿命控制的研究被引量：4
2004年
利用质子辐照形成的集中于射程末端的高密度缺陷在退火时对铂的吸杂作用 ,实现了硅高压功率P i N二极管的局域铂掺杂。经过 70 0°C、半小时低温退火 ,在已进行质子辐照的样品中 ,铂会由铂硅合金阳极向器件内部扩散 ,并形成与质子辐照感生缺陷分布相似的铂的分布。最终 ,质子辐照缺陷峰附近处的铂浓度将会是缺陷拖尾区中铂浓度的 1.5～ 2倍。与传统扩铂技术相比 ,用此新技术制成的P i N功率二极管有可能实现更快的恢复速度、更大的软度恢复因子和更低的反向漏电。
贾云鹏王俊亢宝位张斌
关键词：局域寿命控制质子注入功率二极管
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