游琼玉
- 作品数：3 被引量：0H指数：0
- 供职机构：南昌大学材料科学与工程学院更多>>
- 相关领域：一般工业技术更多>>
- RE(La、Dy)/Si多层膜的结构研究
- 2000年
- 利用XRD、TEM、SEM等技术,对热处理前后的La/Si和Dy/Si多层膜样品的结构进行了研究.在未退火时,La/Si多层膜中形成了非晶态LaSi合金,Dy/Si多层膜存在非晶硅和纳米结构的Dy.两类多层膜中均未有稀土硅化物形成;经过400℃热处理后,多层膜中的稀土原子和硅原子的扩散加强,两元素之间的相互作用也随之增强,La/Si多层膜开始析出LaSi2-x相,Dy/Si多层膜中开始析出DySi2-c相.随着热处理温度的升高,La/Si多层膜样品中LaSi2-x硅化物的量逐渐增加,结晶逐渐完整;Dy/Si多层膜中DySi2-x硅化物相量逐渐增加,结晶逐渐完整.
- 程国安游琼玉徐飞肖志松叶敦茹
- 关键词：多层膜
- RE(La、Dy)/Si多层膜的结构研究
- 利用XRD、TEM、SEM等技术,对热处理前后的La/Si和Dy/Si多层膜样品的结构进行了研究.在未退火时,La/Si多层膜中形成了非晶态LaSi合金,Dy/Si多层膜存在非晶硅和纳米结构的Dy.两类多层膜中均未有稀土...
- 程国安游琼玉徐飞肖志松叶敦茹
- 关键词：多层膜XRDTEM非晶硅热处理温度
- 文献传递
- RE(La、Dy)/Si 多层膜的结构和性能研究
- 游琼玉
- 关键词：多层膜光致发光
