李金儒
- 作品数：12 被引量：7H指数：2
- 供职机构：中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室更多>>
- 发文基金：国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 复杂掩模图数据处理与转换的研究被引量：3
- 2012年
- 将数字图像处理理论和算法引入到掩模版图数据处理与转换系统中,开发了相应的数据处理与转换软件模块。实现了bmp图像文件的输入、图像的灰度量化、对比度拉伸、反转、边缘检测、多边形近似及版图文件的输出。实验结果证明,该软件能将含有较复杂图形的bmp文件成功地转换为GDSII版图文件。
- 赵珉汤跃科陈宝钦李金儒胡勇
- 关键词：图像处理数据转换BMP文件
- 光学和电子束曝光系统之间的匹配与混合光刻技术
- 中国科学院微电子研究所微细加工与纳米技术研究室拥有一个由美国GCA3600F图形发生器、GCA3696分步重复精缩机、日本JEOLJBX6AⅡ电子束曝光系统和JEOLJBX5000LS电子束光刻系统及美国应用材料公司捐赠...
- 陈宝钦任黎明胡勇龙世兵陆晶杨清华张立辉牛洁斌刘明徐秋霞薛丽君李金儒汤跃科赵珉刘珠明王德强
- 关键词：微光刻技术电子束直写
- 文献传递
- CIF格式转换为PG3600格式中任意多边形切割成矩形的算法研究(英文)
- 2008年
- 为了编制能够运行于Windows操作系统且又能够挂靠在L-EDIT数据格式转换软件,文章提出了微光刻图形CIF数据格式转换为PG3600数据格式的新的图形切割算法——沿边切割法,重点讨论任意多边形切割成矩形的具体算法,并与其它几种常见的切割算法进行比较,说明该算法对于不规则图形的切割具有明显的优越性,最后给出所编软件运行的实验结果。
- 李金儒陈宝钦刘明赵珉
- 关键词：数据格式转换任意多边形CIFWINDOWS操作系统
- CIF到PG3600格式转换的算法研究被引量：2
- 2007年
- 提出了微光刻图形CIF数据格式到PG3600数据格式转换软件新的图形切割算法,该算法将L-EDIT输出的CIF格式中的四种图形当作任意多边形处理,然后把多边形切割成矩形。与其他算法相比较,该算法简单、切割理想、切割后的矩形数据量比其他算法少很多。并以此算法为基础,编制能够运行于Windows操作系统且又能够挂靠在L-EDIT上的数据格式转换软件。
- 李金儒陈宝钦赵珉汤跃科
- 关键词：CIF格式数据格式转换
- 将CIF格式多边形切割成PG3600格式矩形的方法
- 本发明涉及微光刻图形数据格式转换技术领域，公开了一种将CIF格式多边形切割成PG3600格式矩形的方法，该方法包括：对于独立的非直角三角形，作一个边的高将其切割成两个直角三角形；对于边数大于或等于四的多边形，过顶点及后续...
- 李金儒赵珉王琴刘明陈宝钦
- 文献传递
- 一种制作百纳米级螺线管或网状结构的方法
- 本发明涉及纳米加工技术领域，公开了一种制作百纳米级螺线管或网状结构的方法，该方法包括：A、对基片衬底进行热处理；B、在衬底上涂敷具有反转特性的电子抗蚀剂；C、对涂敷电子抗蚀剂进行前烘；D、对电子抗蚀剂进行电子束直写曝光；...
- 李金儒赵珉王琴刘明陈宝钦
- 文献传递
- CIF数据格式转换成PG3600数据格式的新切割算法
- 2006年
- 为了编制能够运行于Windows操作系统且又能够挂靠在L-EDIT数据格式上的转换软件,提出了一种新的将微光刻图形CIF数据格式转换为PG3600数据格式的图形切割算法———沿边切割法,重点讨论了圆形和多边形切割成矩形的具体算法,并与其它几种常见的切割算法进行了比较,表明该算法对于不规则图形的切割具有明显的优越性。
- 李金儒汤跃科陈宝钦
- 关键词：微光刻技术数据格式转换
- CIF格式挖空多边形切割为PG3600格式矩形的算法被引量：2
- 2006年
- 给出了一种微光刻图形CIF格式的中间挖空多边形切割成PG3600格式所需矩形的新算法。首先,用水平扫描线把有内环的多边形切割成三角形或梯形;然后,把三角形或梯形切割成矩形和直角三角形;最后,把直角三角形用矩形包围或将其直接切割成矩形。本算法的优越性在于不需要先把挖空多边形切割成凸多边形后再进行切割,而是直接进行,对于三角形则采用了矩形包围拼接的方法,大大减少了切割出的矩形数据量。另外,本算法同样适用于没有内环的凸凹多边形的切割。
- 李金儒陈宝钦汤跃科薛丽君
- 关键词：数据格式转换
- 电子束光刻常用的抗蚀剂工艺技术研究
- 电子束光刻技术是推动微电子和微细加工发展的关键技术,尤其在先进掩模制造和纳米加工领域中,起到不可替代的作用.为满足科研和生产的需要,我们中国科学院微电子研究所微细加工与纳米技术研究室长期以来一直开展光学光刻系统的分辨率增...
- 陈宝钦张立辉范东升牛洁斌刘明薛丽君李金儒汤跃科王德强任黎明龙世兵陆晶
- 关键词：电子束光刻电子束直写微细加工微电子
- 文献传递
- 微光刻图形切割与数据格式转换技术的研究
- 微光刻图形数据处理与转换系统是微光刻技术的一个重要部分，也是微电子工艺技术中的一个重要环节。随着微电子技术不断从微米级向深亚微米级、百纳米级以至纳米级发展，促进先进掩模制造技术、光学分辨率增强技术、下一代光刻掩模制造技术...
- 李金儒
- 关键词：微电子工艺微光刻图形数据转换
