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李成

作品数:104 被引量:114H指数:6
供职机构:厦门大学物理与机电工程学院半导体光子学研究中心更多>>
发文基金:国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划福建省自然科学基金更多>>
相关领域:电子电信理学一般工业技术机械工程更多>>

文献类型

  • 66篇期刊文章
  • 29篇会议论文
  • 4篇专利
  • 3篇学位论文
  • 2篇科技成果

领域

  • 76篇电子电信
  • 20篇理学
  • 4篇一般工业技术
  • 2篇机械工程
  • 1篇化学工程
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇电气工程
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇航空宇航科学...

主题

  • 24篇探测器
  • 23篇光电
  • 21篇光电探测
  • 21篇光电探测器
  • 20篇
  • 12篇SI
  • 12篇SI基
  • 10篇硅基
  • 9篇退火
  • 9篇发光
  • 7篇SIGE
  • 6篇光致
  • 6篇光致发光
  • 6篇半导体
  • 6篇
  • 6篇衬底
  • 5篇晶体管
  • 5篇激光
  • 5篇键合
  • 5篇SI/SIG...

机构

  • 81篇厦门大学
  • 34篇中国科学院
  • 4篇集美大学
  • 4篇厦门理工学院
  • 3篇深圳信息职业...
  • 2篇华侨大学
  • 2篇兰州大学
  • 2篇韩山师范学院
  • 2篇闽江学院
  • 1篇黎明职业大学
  • 1篇甘肃省科学院
  • 1篇闽南理工学院
  • 1篇筑波大学

作者

  • 104篇李成
  • 64篇陈松岩
  • 47篇赖虹凯
  • 24篇黄巍
  • 22篇余金中
  • 13篇周志文
  • 10篇王启明
  • 8篇汪建元
  • 8篇杨沁清
  • 8篇黄诗浩
  • 7篇郑元宇
  • 7篇徐剑芳
  • 7篇成步文
  • 6篇林桂江
  • 6篇王红杰
  • 6篇顾溢
  • 6篇张永
  • 6篇陈城钊
  • 6篇张永刚
  • 6篇王启明

传媒

  • 15篇Journa...
  • 12篇光电子.激光
  • 11篇物理学报
  • 6篇第十一届全国...
  • 6篇第十二届全国...
  • 5篇半导体技术
  • 5篇厦门大学学报...
  • 4篇半导体光电
  • 3篇第十六届全国...
  • 2篇光子学报
  • 1篇南京大学学报...
  • 1篇福州大学学报...
  • 1篇材料导报
  • 1篇光散射学报
  • 1篇半导体杂志
  • 1篇传感技术学报
  • 1篇固体电子学研...
  • 1篇微电子学
  • 1篇世界产品与技...
  • 1篇材料科学与工...

年份

  • 1篇2019
  • 2篇2018
  • 9篇2017
  • 8篇2016
  • 4篇2015
  • 5篇2014
  • 3篇2013
  • 11篇2012
  • 12篇2011
  • 4篇2010
  • 4篇2009
  • 9篇2008
  • 7篇2007
  • 6篇2006
  • 3篇2005
  • 2篇2004
  • 1篇2003
  • 2篇2002
  • 3篇2001
  • 5篇2000
104 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
一种制备半导体衬底的方法
一种制备半导体衬底的方法,其是在一抛光的硅片内注入氢离子,在另一基片上生长二氧化硅/硅布拉格反射镜或单层二氧化硅;将硅片和基片表面涂布一层硅基乳胶,将它们粘接在一起;在400~600℃氮气氛下退火5-60分钟,硅片上较厚...
杨沁清李成欧海燕王红杰王启明
文献传递
高性能Ge n~+/p浅结二极管的制备与应用
结合低温预退火(LTPA)和激光退火(ELA)的方法处理注磷p-Ge(100)衬底,研究不同预退火和激光退火条件下对注磷Ge衬底中磷扩散的影响;低温预退火可以有效压制磷在激光退火过程中的扩散;通过优化退火条件,制备得到G...
王尘许怡红李成林海军
文献传递
面向Si上Ge材料垂直腔面发射激光器的设计
基于SOI上Ge虚衬底生长SiGe/Ge多量子阱材料制备了垂直共振腔发光二极管(RCLED)。发现RCLED发光强度随注入电流密度增加出现非线性放大,同时在大注入电流密度下出现了FP腔模,说明了Ge在电泵浦下净光增益的存...
林光杨毛亦琛王佳琪李成陈松岩黄巍李俊汪建元
关键词:多量子阱材料电流密度
文献传递
硅缓冲层提高选区外延生长硅基锗薄膜质量被引量:1
2019年
研究了Si缓冲层对选区外延Si基Ge薄膜的晶体质量的影响。利用超高真空化学气相沉积系统,结合低温Ge缓冲层和选区外延技术,通过插入Si缓冲层,在Si/SiO_2图形衬底上选择性外延生长Ge薄膜。采用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)表征了Ge薄膜的晶体质量和表面形貌。测试结果表明,选区外延Ge薄膜的晶体质量比无图形衬底外延得到薄膜的晶体质量要高;选区外延Ge薄膜前插入Si缓冲层得到Ge薄膜具有较低的XRD曲线半高宽以及表面粗糙度,位错密度低至5.9×10~5/cm^2,且薄膜经过高低温循环退火后,XRD曲线半高宽和位错密度进一步降低。通过插入Si缓冲层可提高选区外延Si基Ge薄膜的晶体质量,该技术有望应用于Si基光电集成。
许怡红王尘陈松岩李成
关键词:超高真空化学气相沉积
NH3等离子体预处理及O3退火降低HfO2/p-Ge界面态
<正>随着摩尔定律的发展,SiO2作为MOSFET栅氧的厚度已逐渐减小至接近物理极限,导致栅极隧穿漏电流大大增加,严重影响了器件性能的提升。采用高K介质材料,如常用的HfO2,来替换SiO2作为栅氧,可大大降低栅极漏电流...
蓝小凌池晓伟林光杨陆超李成陈松岩黄巍
文献传递
简并态锗在大注入下的自发辐射谱模拟
2017年
基于费米狄拉克模型模拟了应变、温度以及掺杂对简并态锗的直接带自发辐射谱的影响.随着温度升高,更多的电子被激发到导带中,使得锗自发辐射谱的峰值强度和积分强度随温度的升高而增大.对自发辐射谱峰值强度的m因子进行计算,结果表明张应变可以显著提高锗自发辐射的温度稳定性.在相同应变水平下,由Γ-hh跃迁引起的自发辐射谱峰值强度大于Γ-lh跃迁引起的自发辐射谱峰值强度,但二者的积分强度几乎相等.此外,计算结果还证明了n型掺杂能显著提高锗的自发辐射强度.以上结果对于研究简并态半导体的自发辐射性质有重要的参考意义.
汪建元林光杨王佳琪李成
关键词:掺杂
半导体光电结构材料及其应用被引量:1
2011年
半导体光电结构材料广泛应用于信息、照明、交通、能源、医疗、军事等领域.介绍了厦门大学近年来在半导体光电结构材料研究的进展,着重介绍高Al组分AlGaN、高In组分InGaN、GaN基半导体、Si基半导体、ZnO基半导体等结构材料研发中所取得的进展及其在大功率LED、紫外LED、激光器、探测器、太阳能电池等光电器件中的应用.
李书平李成陈松岩方志来张保平吴正云吴志明詹华瀚陈朝余金中王启明康俊勇
关键词:GANSILED探测器太阳能电池
低温Ge作缓冲层的高组份SiGe弛豫衬底生长研究
<正>Si 基 SiGe 合金和纯 Ge 材料具有良好的光电热性能,并且与 Si 工艺兼容,在微电子和光电子器件方面得到了广泛应用,如异质结双结型晶体管,应变 Si、SiGe 和 Ge 高迁移率 MOS 管,近红外1.3...
周志文蔡志猛张永周笔林桂江赖虹凯李成陈松岩余金中
文献传递
高性能SOI基GePIN波导光电探测器的制备及特性研究被引量:4
2017年
本文报道了在SOI衬底上外延高质量单晶Ge薄膜并制备高性能不同尺寸Ge PIN波导光电探测器.通过采用原子力显微镜、X射线衍射、拉曼散射光谱表征外延Ge薄膜的表面形貌、晶体质量以及应变参数,结果显示外延Ge薄膜中存在约0.2%左右的张应变,且表面平整,粗糙度为1.12 nm.此外,通过暗电流、光响应度以及3 dB带宽的测试来研究波导探测器的性能,结果表明尺寸为4μm×20μm波导探测器在-1 V的反向偏压下暗电流密度低至75 mA/cm^2,在1.55μm波长处的响应度为0.58 A/W,在-2 V的反向偏压下的3 dB带宽为5.5 GHz.
王尘许怡红李成林海军
关键词:波导光电探测器
Measurements of Carrier Confinement at β-FeSi_2-Si Heterojunction by Electroluminescence
2005年
A Si p-π-n diode with β-FeSi 2 particles embedded in the unintentionally doped Si (p--type) was designed for determining the band offset at β-FeSi 2-Si heterojunction.When the diode is under forward bias,the electrons injected via the Si n-p- junction diffuse to and are confined in the β-FeSi 2 particles due to the band offset.The storage charge at the β-FeSi 2-Si heterojunction inversely hamper the further diffusion of electrons,giving rise to the localization of electrons in the p--Si near the Si junction,which prevents them from nonradiative recombination channels.This results in electroluminescence (EL) intensity from both Si and β-FeSi 2 quenching slowly up to room temperature.The temperature dependent ratio of EL intensity of β-FeSi 2 to Si indicates the loss of electron confinement following thermal excitation model.The conduction band offset between Si and β-FeSi 2 is determined to be about 0 2eV.
李成末益崇长谷川文夫
关键词:ELECTROLUMINESCENCE
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