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吴剑威

作品数：124 被引量：67H指数：4
供职机构：哈尔滨工业大学更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划中国博士后科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术文化科学机械工程电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 108篇专利
  • 12篇期刊文章
  • 2篇会议论文
  • 1篇学位论文

领域

  • 18篇自动化与计算...
  • 11篇文化科学
  • 9篇机械工程
  • 8篇电子电信
  • 6篇金属学及工艺
  • 3篇交通运输工程
  • 2篇理学
  • 1篇化学工程
  • 1篇建筑科学

主题

  • 31篇光刻
  • 31篇光刻机
  • 21篇气浮
  • 16篇工件台
  • 15篇仪器
  • 15篇精密仪器
  • 14篇电机
  • 11篇微动台
  • 10篇导轨
  • 10篇线圈
  • 9篇解耦
  • 9篇反馈控制
  • 8篇永磁
  • 8篇光阑
  • 8篇磁悬浮
  • 7篇平面电机
  • 7篇轴承
  • 7篇隔振
  • 7篇磁浮
  • 6篇大行程

机构

  • 123篇哈尔滨工业大...
  • 1篇黑龙江工程学...
  • 1篇中国计量科学...
  • 1篇工业和信息化...

作者

  • 123篇吴剑威
  • 83篇谭久彬
  • 58篇赵鹏越
  • 29篇王继尧
  • 26篇张银
  • 20篇郑健
  • 19篇崔继文
  • 14篇赵博
  • 13篇刘江
  • 12篇王辉
  • 8篇史士财
  • 7篇刘宏
  • 7篇刘欢
  • 6篇刘永猛
  • 6篇崔俊宁
  • 5篇袁勇
  • 3篇黄景志
  • 2篇胡鹏程
  • 2篇刘俭
  • 2篇司圣洁

传媒

  • 2篇哈尔滨工业大...
  • 2篇机器人
  • 1篇红外与激光工...
  • 1篇光学精密工程
  • 1篇机械工程学报
  • 1篇轴承
  • 1篇华中科技大学...
  • 1篇机械与电子
  • 1篇高技术通讯
  • 1篇计算机仿真

年份

  • 3篇2024
  • 8篇2023
  • 44篇2022
  • 8篇2021
  • 19篇2019
  • 9篇2018
  • 13篇2016
  • 7篇2015
  • 4篇2014
  • 1篇2012
  • 1篇2011
  • 2篇2010
  • 3篇2009
  • 1篇2006
共 124 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种精密运动气浮支撑装置
本发明涉及精密运动技术领域，公开了一种精密运动气浮支撑装置，其包括基座、导轨和支撑框架，导轨水平设置于基座上并与基座固定连接，支撑框架套设于导轨上并可沿导轨滑动，支撑框架包括底部气浮板、顶部气浮板和侧向气浮板，侧向气浮板...
吴剑威赵鹏越刘江王继尧郑健赵博谭久彬
回复力恒定式航空发动机装配用平面二维调整装置
回复力恒定式航空发动机装配用平面二维调整装置属于精密仪器及机械技术领域；该方法通过内框、外框和运动台的复合运动实现，内框、外框和运动台的底面为共面结构；通过操纵杆对限位单元位置调整，使主导向部件和副导向部件与运动台的导向...
谭久彬黄景志吴剑威郭腾辉
文献传递
一种用于工件台微转动的柔性铰链组件
本发明提供了一种用于工件台微转动的柔性铰链组件，涉及铰链领域。该柔性铰链组件包括第一部件、第二部件和柔性铰链本体，柔性铰链本体包括层叠设置的第一铰链单体和第二铰链单体，第一铰链单体包括两个第一弧形段及第一X形连接段，两个...
吴剑威王辉赵鹏越晏祯卓张银李一帆马亚蕊
一种微动台气浮支撑装置
本发明涉及半导体加工技术领域，公开了一种微动台气浮支撑装置，包括基座、能够在基座上悬浮的气浮模块、以及位于气浮模块上的连接结构，气浮模块用于支撑连接结构，连接结构用于支撑微动台；气浮模块包括外部框架、调节框架及负压调节板...
吴剑威赵鹏越刘江郑健王继尧李昌其谭久彬
文献传递
空间机械臂关节固体润滑轴承的跑合实验与分析被引量：1
2009年
介绍了空间机械臂关节轴承的固体润滑方式,分析了跑合对固体润滑膜润滑性能的改善作用.设计可以改变预载荷的跑合系统,并进行轴承跑合实验.为采用固体润滑技术解决空间机械臂关节轴承润滑问题提供了依据.
吴剑威史士财刘宏
关键词：固体润滑轴承跑合预载荷
一种基于气磁联合调平的微动台支撑装置
本发明涉及光刻机技术领域，公开了一种基于气磁联合调平的微动台支撑装置，包括承重板、外部框架、负压调节框架、负压调节板、磁悬浮导轨、连接结构、基座及直线编码器；外部框架设于基座上，连接结构设于外部框架上，连接结构用于支撑微...
吴剑威刘江赵鹏越王继尧郑健王辉谭久彬
文献传递
基于无线能量传输的动磁钢磁浮双工件台矢量圆弧换台方法及装置
基于无线能量传输的动磁钢磁浮双工件台矢量圆弧换台方法及装置属于半导体制造装备技术，该装置包括支撑框架、平衡质量块、磁浮工件台、工件台测量装置、无线能量发射装置、无线能量接收装置，两个工件台工作于测量位和曝光位之间，采用激...
刘永猛吴剑威谭久彬
文献传递
双工件台宏微快速交接机构
双工件台宏微快速交接机构属于夹持抓卡机械，用于光刻机工件台宏动机构和微动台的对接分离，在基体上固装上夹板、第二片簧、杠杆支点和气缸体，动夹头和下夹板配置在上夹板下方，第一片簧将工件台与动夹头连接，可调压力弹簧两端分别与工...
吴剑威谭久彬袁勇
文献传递
磁悬浮驱动式导向机构
本发明涉及精密机械技术领域，公开了一种磁悬浮驱动式导向机构，包括：两个基座、导轨、第一悬浮装置和第二悬浮装置，两基座相互间隔且平行设置，其中左基座上设有磁力线圈和永磁铁，右基座上设有永磁铁，导轨悬浮架设于两基座上；第一悬...
吴剑威刘江赵鹏越王辉李昌其王继尧谭久彬
文献传递
一种光刻机电路板水冷屏蔽装置
本发明涉及半导体加工设备技术领域，公开了一种光刻机电路板水冷屏蔽装置，包括盒体，所述盒体包括相对设置的两块水冷屏蔽板，电路板贴合于所述水冷屏蔽板的内表面，所述水冷屏蔽板内设有冷却水路，且两块所述水冷屏蔽板的所述冷却水路相...
吴剑威刘海朝赵鹏越李昌其韦威威王继尧谭久彬
文献传递
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