上海理工大学管理学院工业工程研究所
- 作品数：29 被引量：122H指数：7
- 相关作者：俞静潘峰梁德丰黄晓东杨丽艳更多>>
- 相关机构：同济大学机械与能源工程学院工业工程研究所同济大学机械与能源工程学院同济大学经济与管理学院更多>>
- 发文基金：上海市教育委员会重点学科基金国家教育部博士点基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信经济管理自动化与计算机技术理学更多>>
- 电子表格模型在半导体晶圆制造产能规划中的应用被引量：3
- 2006年
- 半导体晶圆厂的设备非常昂贵,对设备利用率的要求较高,设计一套简单实用的办法进行产能规划是十分必要的。本文提出了产能规划的三大模块,在前两个模块中将建立半导体晶圆制造产能规划的电子表格模型(Spreadsheet),在第三个模块中利用产能规划模型的数据结果进行分析,总结出一些改进方法。通过在某半导体晶圆厂的实际应用,该产能规划模型有效地解决了投料不均,设备负荷率波动过大等问题。
- 任建华钱省三许圣良
- 关键词：半导体晶圆制造
- SPC在半导体晶圆制造厂的应用(下)被引量：3
- 2004年
- 由于半导体制造工艺过程的复杂性,一般很难建立其制造模型,不能对工艺过程状态作有效的监控,所以迫切需要先进的半导体过程控制技术来严格监控工艺过程状态,而SPC就是其中最重要的一种技术。本文着重论述了半导体晶圆厂的SPC与传统行业的不同之处。
- 梁德丰梁静钱省三
- 关键词：SPC过程控制控制图数据采集数据分析
- SPC在半导体晶圆制造厂的应用(上)被引量：7
- 2004年
- 由于半导体制造工艺过程的复杂性,一般很难建立其制造模型,不能对工艺过程状态有效地监控,所以迫切需要先进的半导体过程控制技术来严格监控工艺过程状态,而SPC就是其中最重要的一种技术。本文针对SPC做了简要概述,着重论述了根据半导体生产工艺的特点来实现其在半导体晶圆厂的实际应用。
- 梁德丰钱省三梁静
- 关键词：SPC过程控制控制图统计过程控制
- 半导体晶圆制造车间层控制的内容及方法被引量：5
- 2003年
- 半导体晶圆制造企业是资本密集、技术密集型产业,晶圆制造厂也是公认生产最为复杂的工厂之一。产品更新换代快、市场竞争激烈等特点使得投资者对设备产能和设备利用率高度重视。这已不仅仅是技术问题,而是生产制造过程管理的问题。本文介绍了半导体晶圆制造车间层控制的内容及方法。
- 邵志芳钱省三
- 关键词：实时调度生产管理
- 半导体晶圆生产系统瓶颈识别与管理对策被引量：3
- 2007年
- 瓶颈资源决定着系统的产出,对瓶颈资源进行有效地管理对于资金密集的半导体晶圆生产系统具有重要的意义。由于系统波动的存在,系统瓶颈漂移现象无法避免,所以将多重入半导体晶圆生产系统瓶颈分为长期、中期、短期瓶颈,提出了识别三种系统瓶颈的方法。分析了瓶颈漂移问题产生的主要原因,同时对各个主要原因提出了相应的管理对策,最后提出了晶圆生产系统的瓶颈管理模式,并详述该管理模式之流程及其瓶颈设备缓冲管理机制。
- 杨丽艳钱省三
- 关键词：瓶颈管理
- 一种面向用户的计算机集成热工测控系统的研制被引量：1
- 2007年
- 良好的测控手段和用户友好的测试软件是高精度的空调器性能测量装置的重要保证。本文分析了影响空调器测量精度的影响因素,设计了一套用于空调器性能测量的测控系统。测控系统以面向用户为设计原则,在保证测量精度的前提下,采用了高性能的测量传感器、自动控制器、人机对话的触摸屏等,编制了关键的控制采集软件,具有控制精度高、使用灵活、界面友好、性能稳定可靠等特点,在多套空调器性能测量装置上成功应用。
- 李芳翁文兵王恒山刘占杰
- 关键词：数据采集空调器空气焓值法
- ARIMA模型在半导体产品需求预测上的应用被引量：7
- 2007年
- 半导体市场需求的动态变化给半导体制造业的生产决策带来了很大的不确定性。以我国某半导体制造企业的历史订单数据为例,利用SPSS软件的时间序列分析模块建立ARIMA模型进行半导体产品的需求预测。实例表明,应用ARIMA模型进行需求预测具有精度高、数据可靠、操作方便、运行迅速、应变能力强等优点。从而可提高企业以及其合作伙伴的收益,并帮助企业进行更好的生产决策。
- 钮轶君钱省三任建华
- 关键词：半导体
- 基于Petrinet的半导体代工系统建模及案例研究被引量：4
- 2006年
- 提出了一种IDEF0与Petrinet相结合的建模方法,利用IDEF0静态模型对车间内的系统及各子系统之间的相互关系进行详细描述,利用Petri网的静态及动态特性描述了该系统中存在的回流、并发、资源共享、随机性的重做以及突发性设备故障等现象。以一个代工厂光刻系统为例,对该建模方法进行了具体介绍。
- 邵志芳钱省三刘仲英
- 关键词：PETRI网
- 局部Lipschitz泛函渐近极值定理及其应用被引量：1
- 2007年
- 获得了局部Lipschitz泛函的一个渐近极值定理.作为此定理的应用得到了满足较弱紧性条件的非光滑泛函的临界点存在定理.
- 郭进利
- 关键词：广义次梯度(PS)条件EKELAND变分原理
- 概率度量空间在分形图理论中的应用
- 2008年
- 给出广义概率度量空间上的随机压缩映射的新定义,统一了概率度量空间中的概率压缩,E-空间中的强压缩,随机度量空间中的几乎处处压缩和均匀压缩的定义.在广义概率度量空间上给出几个新的不动点定理,将概率度量空间中的一些熟知的不动点定理作为推论得到.利用这些不动点定理,得到分形图理论中随机迭代函数系统的遍历性定理.
- 郭进利
- 关键词：压缩映射分形图迭代函数系统
