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爱德华兹有限公司

作品数：471 被引量：0H指数：0
相关机构：埃地沃兹日本有限公司更多>>
相关领域：一般工业技术自动化与计算机技术文化科学动力工程及工程热物理更多>>

合作机构

文献类型

  • 471篇中文专利

领域

  • 29篇一般工业技术
  • 26篇自动化与计算...
  • 18篇文化科学
  • 12篇动力工程及工...
  • 9篇化学工程
  • 8篇医药卫生
  • 7篇经济管理
  • 7篇机械工程
  • 6篇石油与天然气...
  • 6篇航空宇航科学...
  • 5篇金属学及工艺
  • 2篇交通运输工程
  • 2篇环境科学与工...
  • 2篇理学
  • 1篇电气工程

主题

  • 154篇真空泵
  • 79篇泵送
  • 68篇转子
  • 62篇流体
  • 51篇气体
  • 47篇出口
  • 44篇轴承
  • 43篇密封
  • 39篇燃烧
  • 34篇真空
  • 31篇密封件
  • 28篇涡旋
  • 25篇轴向
  • 25篇壳体
  • 24篇减排
  • 24篇废气
  • 22篇真空系统
  • 22篇分子泵
  • 20篇涡轮分子泵
  • 18篇导管

机构

  • 471篇爱德华兹有限...
  • 1篇埃地沃兹日本...

年份

  • 16篇2024
  • 43篇2023
  • 47篇2022
  • 50篇2021
  • 34篇2020
  • 36篇2019
  • 19篇2018
  • 25篇2017
  • 23篇2016
  • 24篇2015
  • 24篇2014
  • 17篇2013
  • 30篇2012
  • 14篇2011
  • 14篇2010
  • 30篇2009
  • 25篇2008
共 471 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
涡旋泵
涡旋泵包括：入口和出口；与绕动涡盘(130)相互啮合的固定涡盘(120)，以在它们之间限定空间，用于将流体从入口泵送到出口；配置成将绕动涡盘(130)抵靠固定涡盘(120)偏压的偏压装置(170)；从所述空间通过固定涡盘...
A·E·K·霍尔布鲁克D·贝德维尔N·P·斯科菲尔德
微波等离子反应器
一种微波等离子反应器(10)包括：反应器腔室；位于反应器腔室内的微波共振腔(14)；用于将微波辐射传导至共振腔的波导管(16)，波导管(16)具有会聚渐缩部；用于在共振腔内从微波辐射形成电磁驻波的装置，微波辐射用于启动等...
M·勒多伊乌J·R·史密斯A·J·西利
文献传递
多室真空排气系统
公开一种用于排空多个真空室的真空排气系统。所述真空排气系统包括：多个低压真空泵，所述多个低压真空泵被构造成在气体的分子流区域中操作，并且被构造成用于排空所述多个真空室；多个室阀，所述多个室阀用于使所述多个低压真空泵与所述...
N·P·肖菲尔德C·M·贝利M·A·加尔特里A·D·曼
文献传递
气体燃烧装置
气体的燃烧方法，包括以下步骤：将该气体输送到与燃烧腔室(44)连接的燃烧喷嘴(42)中，以及将用于在该燃烧喷嘴周围形成引燃火焰的气体提供给该腔室(44)。为了形成该引燃火焰，将氢气通过在该燃烧喷嘴周围延伸的第一组多个开孔...
M·R·柴尼亚克D·门尼伊
文献传递
用于形成等离子体的设备和方法
描述了一种用于处理来自半导体制造加工工具的排出气体流的设备。所述设备包括用于由惰性可电离气体产生辉光放电的等离子体喷枪。所述气体流被输送至所述辉光放电处以使等离子体点火。电磁辐射源将电磁辐射供应至所述排出气体流以维持所述...
A·J·西利
文献传递
泵和泵送流体的方法
公开了一种泵和用于泵送气体的方法。泵包括转子和定子。转子或定子中的至少一个包括被配置成用于与液体源流体连通的至少一个液体开口。液体开口被配置成使得响应于施加在来自液体源的液体上的驱动力，从开口输出液体流，液体流在转子和定...
I.D.斯通斯N.肖费尔德I.诺顿
文献传递
带有定子接头密封件的泵组件
公开一种泵组件，其包括：两个半壳定子，其限定一个或更多个泵送腔室；端部件，其安装在所述两个半壳定子的任一端部处；纵向密封件，其用于在所述泵送腔室的任一侧上在所述两个半壳定子的纵向接触面之间进行密封；以及至少一个另外的密封...
A.E.K.霍尔布鲁克N.P.肖菲尔德I.M.米尔扎
文献传递
具有包括第一部分和第二部分的定子布置的泵
本发明涉及一种泵(62)，其包括转子布置(64)和定子布置(66)。定子布置包括由耐腐材料制成的第一部分(68)，第一部分限定了在使用中被转子布置扫掠过的容积(70)以用于将流体从定子布置的入口(72)泵送到定子布置的出...
S·E·唐厄姆D·P·曼逊H·鲍威尔
文献传递
泵送线布置中的改进或与其相关的改进
在半导体制造领域中，存在确保不同的不相容过程流不以由此存在发生不同过程流之间的灾难性反应的高风险的方式而彼此混合的需要。一种泵送线布置（10）包括腔室连接线（12），所述腔室连接线（12）流体地可连接到形成半导体制造工具...
A.J.西利
文献传递
用于辐射燃烧器的废气入口组件
公开了一种用于燃烧器的入口组件（50）和一种方法。入口组件（50）包括：入口喷嘴，其限定：入口开口（240），该入口开口可与入口导管联接，该入口导管提供废气流以用于由燃烧器处理；非圆形出口开口（260）；和喷嘴孔，其沿着...
A.J.西利D.M.普赖斯
文献传递
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