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睿励科学仪器(上海)有限公司

作品数：311 被引量：8H指数：1
相关机构：复旦大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项更多>>
相关领域：自动化与计算机技术机械工程理学文化科学更多>>

合作机构

文献类型

  • 306篇专利
  • 2篇期刊文章
  • 2篇会议论文
  • 1篇科技成果

领域

  • 55篇自动化与计算...
  • 23篇机械工程
  • 17篇理学
  • 13篇文化科学
  • 12篇电子电信
  • 2篇经济管理
  • 2篇环境科学与工...
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇建筑科学
  • 1篇医药卫生
  • 1篇农业科学
  • 1篇政治法律

主题

  • 40篇光谱
  • 38篇光学
  • 37篇晶圆
  • 36篇半导体
  • 31篇图像
  • 27篇入射
  • 26篇光源
  • 20篇物镜
  • 18篇波长
  • 17篇存储介质
  • 16篇探测器
  • 16篇硅片
  • 15篇椭偏测量
  • 13篇照明
  • 13篇偏振
  • 12篇组件
  • 11篇定标
  • 11篇镜头
  • 10篇视场
  • 10篇量测系统

机构

  • 311篇睿励科学仪器...
  • 1篇复旦大学

作者

  • 1篇王子仪
  • 1篇郑玉祥
  • 1篇张荣君

传媒

  • 1篇实验室研究与...
  • 1篇中文科技期刊...

年份

  • 50篇2024
  • 60篇2023
  • 27篇2022
  • 14篇2021
  • 8篇2020
  • 10篇2019
  • 26篇2018
  • 22篇2017
  • 14篇2016
  • 35篇2015
  • 16篇2014
  • 11篇2013
  • 9篇2012
  • 3篇2011
  • 1篇2010
  • 4篇2009
  • 1篇2007
共 311 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
光谱量检测设备
1.本外观设计产品的名称：光谱量检测设备。;2.本外观设计产品的用途：用于半导体领域中薄膜膜厚量测、缺陷检测。;3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。;4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。;5.仰视图为底面不容...
熊金磊请求不公布姓名温兴达
一种晶圆角度自动旋转设备
本实用新型公开了一种晶圆角度自动旋转设备，包括可调节高度的底座，底座上固定有固定套筒，固定套筒内设有可转动的丝杠以及通过螺纹转动连接于丝杠上的多个滑块，丝杠一端与丝杠电机的驱动端连接，固定套筒的一侧设有使得所有可伸缩手臂...
齐国宇王金歌李晓辉
三维空间光源系统及相关的光测量设备
本发明的各实施例涉及一种三维空间光源系统及其相应的光测量设备，其中三维空间光源系统包括：光源；以及彼此独立的多个光路，被配置为分别独立地耦合到所述光源；其中，所述多个光路进一步包括中间光路和多个外围光路，所述多个外围光路...
王立峰叶薇薇李宇
文献传递
光谱仪控制电路以及光谱仪
本实用新型涉及一种光谱仪控制电路以及光谱仪。该电路包括信号采集模块，其耦接到所述光谱仪中的图像传感器，用于接收所述图像传感器的输出信号，并基于所述输出信号而生成光谱数据；主控器，其通过以太网连接接口耦接到外部控制设备，并...
周万泉王英
文献传递
光束调节模块、光学测量系统以及光学测量方法
本公开的实施例涉及光束调节模块、光学测量系统和光学测量方法。该光束调节模块包括：第一小孔，被配置为使得通过第一小孔的光束被成像在被测样品表面；第二小孔，用于对通过第一小孔的光束进行调整，第二小孔沿第一小孔的光轴与第一小孔...
尚振华吴玉年
温度标定方法及装置
本发明提供了一种用于温度标定的方法和装置，包括：标定电阻，其具有与温度相关的阻值；测量模块，耦接至标定电阻，用于采集不同温度下的标定电阻的阻值信息，并输出相应的测量值；以及数据处理单元，耦接至测量模块，用于基于若干测量值...
郭亚娟郭一鸣周万泉王英
基于脉冲激光的椭偏量测装置及相关的光操作方法
本公开提供了一种基于脉冲激光的椭偏量测装置以及相关的光操作方法。该装置被配置为能够操作选择地在椭偏量测模式下工作，所述椭偏量测装置特别地包括：锁相放大模块，其被配置成接收来自于样品的第一检测信号，并且基于所述第一调制信号...
吕彤欣韩景珊杨峰
光谱仪控制电路以及光谱仪
本发明涉及一种光谱仪控制电路以及光谱仪。该电路包括信号采集模块，其耦接到所述光谱仪中的图像传感器，用于接收所述图像传感器的输出信号，并基于所述输出信号而生成光谱数据；主控器，其通过以太网连接接口耦接到外部控制设备，并耦接...
周万泉王英
文献传递
利用多极透镜调整粒子束流的光阑及包含该光阑的设备
本发明的目的是提供一种利用多极透镜调整粒子束流的光阑及包含该光阑的设备。根据本发明的光阑，包括光阑板，其上包括多个分别具有不同孔径的小孔；多个多极透镜，包括位于该光阑板入射侧的第一组多个入射多极透镜及位于该光阑板出射侧的...
李家铮
文献传递
椭偏测量装置和用于获取待测对象的表面信息的方法
本公开的实施例提供一种椭偏测量装置和用于获取待测对象的表面信息的方法。其中椭偏测量装置包括：偏振光束提供装置，用于提供多个平行的偏振光束；第一离轴抛物面镜，用于将多个平行的偏振光束反射以便多个被反射后的第一光束聚焦在待测...
王瑜杨峰吕彤欣韩景珊
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