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苏州拓升智能装备有限公司

作品数:74 被引量:2H指数:1
相关机构:营口金辰机械股份有限公司中国科学院大学中国科学院宁波材料技术与工程研究所更多>>
发文基金:浙江省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域:电气工程自动化与计算机技术化学工程金属学及工艺更多>>

文献类型

  • 72篇专利
  • 2篇期刊文章

领域

  • 12篇电气工程
  • 7篇化学工程
  • 7篇自动化与计算...
  • 4篇金属学及工艺
  • 2篇经济管理
  • 2篇电子电信
  • 2篇一般工业技术
  • 2篇文化科学
  • 1篇建筑科学
  • 1篇交通运输工程

主题

  • 31篇石墨
  • 21篇管式
  • 16篇电池
  • 15篇电极
  • 14篇组件
  • 8篇缓存
  • 7篇太阳电池
  • 7篇炉体
  • 6篇基板
  • 5篇氧化硅
  • 5篇石英管
  • 5篇外轮廓
  • 5篇炉管
  • 4篇阵列
  • 4篇太阳能
  • 4篇太阳能电池
  • 4篇冷却装置
  • 4篇模组
  • 4篇硅薄膜
  • 4篇板载

机构

  • 74篇苏州拓升智能...
  • 2篇营口金辰机械...
  • 1篇中国科学院宁...
  • 1篇中国科学院大...

作者

  • 1篇叶继春
  • 1篇刘伟
  • 1篇廖明墩

传媒

  • 1篇太阳能
  • 1篇新能源科技

年份

  • 11篇2024
  • 6篇2023
  • 14篇2022
  • 14篇2021
  • 27篇2020
  • 2篇2019
74 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
一种适用于PECVD设备的桨杆装置
本实用新型公开了一种适用于PECVD设备的桨杆装置,包括:桨杆组件;以及固接于所述桨杆组件末端的承重杆夹紧组件;其中,所述承重杆夹紧组件末端固接有高度调节组件,所述高度调节组件可对所述承重杆夹紧组件末端高度微调。本实用新...
王玉明刘景博陈晖张庶
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半导体处理设备
本发明实施例提供了一种半导体处理设备,包括:至少一个第一电极片;至少一个第二电极片,所述第二电极片与所述第一电极片交替设置,且与所述第一电极片之间保持间距;第一固定部,用于固定所述第一电极片,且与所述第二电极片保持间距;...
闫宝杰王玉明陈晖曾俞衡廖明墩叶继春程海良柯贤洋
一种适用于PECVD设备的炉管模块化机构
本发明公开了一种适用于PECVD设备的炉管模块化机构,包括:内部中空的单面开放式机架;以及设于所述单面开放式机架内部的至少一组的炉体组件;其中,所述单面开放式机架包括:整体固定架;以及设于所述整体固定架内部的隔离架,所述...
陆尉王玉明陈晖程海良
基板载具、基板载具阵列和气相沉积装置
本发明实施例提供了一种基板载具、基板载具阵列和气相沉积装置,其中所述基板载具包括:第一载板;第二载板,所述第二载板与所述第一载板的外轮廓相同,所述第二载板为中空框架状,所述第二载板在垂直于所述第一载板的方向上与所述第一载...
王玉明陈晖程海良谢利华李旺鹏叶继春曾俞衡廖明墩闫宝杰
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一种适用于管式PECVD的石墨舟缓存上料机构
本实用新型公开了一种适用于管式PECVD的石墨舟缓存上料机构,包括:传送线;以及设于所述传送线上的石墨舟缓存组件,所述石墨舟缓存组件包括:缓存底板,其与所述传送线滑动连接;以及至少三片缓存支撑板,其在底板与所述缓存底板相...
周玉龙刘景博王玉明
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一种适用于PECVD单桨设备的石英管辅助拆装机构
本实用新型公开了一种适用于PECVD单桨设备的石英管辅助拆装机构,包括:推舟模组;石英管;以及与所述石英管接触连接的至少2组的辅助拆装装置;其中,所述辅助拆装装置可拆卸的连接于所述推舟模组的侧端部,所述辅助拆装装置包括:...
周玉龙王玉明刘景博
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一种热反射装置及管式真空加热设备
本发明公开了一种热反射装置及管式真空加热设备,该热反射装置包括:炉门板,其形状与管式真空加热设备的截面一致;至少两层挡热板,其设于所述炉门板的同一侧;其中,所述炉门板与所述挡热板设置在所述管式真空加热设备的端部。本案的热...
王玉明程海良闫宝洁曾俞衡陈晖谢利华李旺鹏
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一种适用于TOPCon电池的双石墨舟缓存冷却装置
本发明公开了一种适用于TOPCon电池的双石墨舟缓存冷却装置,包括缓存冷却箱以及设于所述缓存冷却箱之中的冷却机构与至少两组石墨舟缓存机构,其特征在于,所述冷却机构安装于所述缓存冷却箱的顶壁,所述石墨舟缓存机构安装于所述缓...
刘景博王玉明陈晖
一种适用于PECVD设备的炉管模块化机构
本发明公开了一种适用于PECVD设备的炉管模块化机构,包括:内部中空的单面开放式机架;以及设于所述单面开放式机架内部的至少一组的炉体组件;其中,所述单面开放式机架包括:整体固定架;以及设于所述整体固定架内部的隔离架,所述...
陆尉王玉明陈晖程海良
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一种适用于氢燃料电池电堆堆叠及定位的机构
本实用新型公开了一种适用于氢燃料电池电堆堆叠及定位的机构,包括:内定位杆组、外定位杆组、电池底板、预压机构、上插杆导向机构、下插杆导向机构、螺杆夹持机构以及螺杆下挡板机构;电池底板用于承载堆叠完成的电池电堆,内定位杆组与...
姜玉超张庶董响建
文献传递
共8页<12345678>
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