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苏州拓升智能装备有限公司
作品数:
74
被引量:2
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相关机构:
营口金辰机械股份有限公司
中国科学院大学
中国科学院宁波材料技术与工程研究所
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发文基金:
浙江省自然科学基金
国家自然科学基金
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相关领域:
电气工程
自动化与计算机技术
化学工程
金属学及工艺
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营口金辰机械股份有限公司
中国科学院大学
中国科学院宁波材料技术与工程研...
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主题
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机构
74篇
苏州拓升智能...
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营口金辰机械...
1篇
中国科学院宁...
1篇
中国科学院大...
作者
1篇
叶继春
1篇
刘伟
1篇
廖明墩
传媒
1篇
太阳能
1篇
新能源科技
年份
11篇
2024
6篇
2023
14篇
2022
14篇
2021
27篇
2020
2篇
2019
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74
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一种适用于PECVD设备的桨杆装置
本实用新型公开了一种适用于PECVD设备的桨杆装置,包括:桨杆组件;以及固接于所述桨杆组件末端的承重杆夹紧组件;其中,所述承重杆夹紧组件末端固接有高度调节组件,所述高度调节组件可对所述承重杆夹紧组件末端高度微调。本实用新...
王玉明
刘景博
陈晖
张庶
文献传递
半导体处理设备
本发明实施例提供了一种半导体处理设备,包括:至少一个第一电极片;至少一个第二电极片,所述第二电极片与所述第一电极片交替设置,且与所述第一电极片之间保持间距;第一固定部,用于固定所述第一电极片,且与所述第二电极片保持间距;...
闫宝杰
王玉明
陈晖
曾俞衡
廖明墩
叶继春
程海良
柯贤洋
一种适用于PECVD设备的炉管模块化机构
本发明公开了一种适用于PECVD设备的炉管模块化机构,包括:内部中空的单面开放式机架;以及设于所述单面开放式机架内部的至少一组的炉体组件;其中,所述单面开放式机架包括:整体固定架;以及设于所述整体固定架内部的隔离架,所述...
陆尉
王玉明
陈晖
程海良
基板载具、基板载具阵列和气相沉积装置
本发明实施例提供了一种基板载具、基板载具阵列和气相沉积装置,其中所述基板载具包括:第一载板;第二载板,所述第二载板与所述第一载板的外轮廓相同,所述第二载板为中空框架状,所述第二载板在垂直于所述第一载板的方向上与所述第一载...
王玉明
陈晖
程海良
谢利华
李旺鹏
叶继春
曾俞衡
廖明墩
闫宝杰
文献传递
一种适用于管式PECVD的石墨舟缓存上料机构
本实用新型公开了一种适用于管式PECVD的石墨舟缓存上料机构,包括:传送线;以及设于所述传送线上的石墨舟缓存组件,所述石墨舟缓存组件包括:缓存底板,其与所述传送线滑动连接;以及至少三片缓存支撑板,其在底板与所述缓存底板相...
周玉龙
刘景博
王玉明
文献传递
一种适用于PECVD单桨设备的石英管辅助拆装机构
本实用新型公开了一种适用于PECVD单桨设备的石英管辅助拆装机构,包括:推舟模组;石英管;以及与所述石英管接触连接的至少2组的辅助拆装装置;其中,所述辅助拆装装置可拆卸的连接于所述推舟模组的侧端部,所述辅助拆装装置包括:...
周玉龙
王玉明
刘景博
文献传递
一种热反射装置及管式真空加热设备
本发明公开了一种热反射装置及管式真空加热设备,该热反射装置包括:炉门板,其形状与管式真空加热设备的截面一致;至少两层挡热板,其设于所述炉门板的同一侧;其中,所述炉门板与所述挡热板设置在所述管式真空加热设备的端部。本案的热...
王玉明
程海良
闫宝洁
曾俞衡
陈晖
谢利华
李旺鹏
文献传递
一种适用于TOPCon电池的双石墨舟缓存冷却装置
本发明公开了一种适用于TOPCon电池的双石墨舟缓存冷却装置,包括缓存冷却箱以及设于所述缓存冷却箱之中的冷却机构与至少两组石墨舟缓存机构,其特征在于,所述冷却机构安装于所述缓存冷却箱的顶壁,所述石墨舟缓存机构安装于所述缓...
刘景博
王玉明
陈晖
一种适用于PECVD设备的炉管模块化机构
本发明公开了一种适用于PECVD设备的炉管模块化机构,包括:内部中空的单面开放式机架;以及设于所述单面开放式机架内部的至少一组的炉体组件;其中,所述单面开放式机架包括:整体固定架;以及设于所述整体固定架内部的隔离架,所述...
陆尉
王玉明
陈晖
程海良
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一种适用于氢燃料电池电堆堆叠及定位的机构
本实用新型公开了一种适用于氢燃料电池电堆堆叠及定位的机构,包括:内定位杆组、外定位杆组、电池底板、预压机构、上插杆导向机构、下插杆导向机构、螺杆夹持机构以及螺杆下挡板机构;电池底板用于承载堆叠完成的电池电堆,内定位杆组与...
姜玉超
张庶
董响建
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