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北京智芯传感科技有限公司
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作者
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张威
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李海斌
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石云波
年份
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2024
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2023
14篇
2022
3篇
2020
7篇
2019
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一种量程自切换式流量计
本实用新型公开了一种量程自切换式流量计,包括流量测试模组A、流量测试模组B和切换模块;其中流量测试模组A由管道A、节流板A、MEMS差压传感器组成,流量测试模组B由管道B、节流板B、MEMS差压传感器组成,切换模块包括电...
周浩楠
赵晓东
陈广忠
张亚婷
一种高频响高灵敏度的压阻式加速度传感器
本发明公开了一种高频响高灵敏度的压阻式加速度传感器,包括上盖、支撑框架、敏感梁、质量块、压敏电阻和下盖。该结构设置四个敏感梁分别位于质量块的四个角,所述敏感梁短而宽,两端采用非对称结构,具体包括T形和Y形,其中短边连接质...
周浩楠
何长运
李宋
张亚婷
一种力传感器芯片及其制备方法
本发明提供了一种力传感器,包括MEMS力感应芯片、开口封外壳、金属球和柔性电路板;其中MEMS力感应芯片内置于开口封外壳内,力敏感区外露于开口位置;柔性电路板上分布有弹簧结构和焊盘,焊盘位于柔性电路板中心位置,与弹簧结构...
周浩楠
赵晓东
李宋
张亚婷
MEMS压阻式压力敏感器件性能试验方法
本文件描述了MEMS压阻式压力敏感器件试验条件和试验方法。本文件适用于MEMS压阻式压力敏感器件。
张威
顾枫
李根梓
陈广忠
李宋
张亚婷
张良
陈立国
林瑞梅
李树成
茅曙
张宾
王鹏
李晓波
许宙
王玮冰
陈路
高峰
明志茂
曹万
陈君杰
王冰
微机电系统(MEMS)技术 MEMS结构共振疲劳试验方法
本标准规定了MEMS结构共振疲劳试验的试验方法,包括设备、试验环境样品要求、试验条件和试验步骤。本标准适用于MEMS结构的共振疲劳试验。
张威
张亚婷
于振毅
陆学贵
朱悦
石云波
李海斌
程逸轩
周浩楠
陈得民
一种单片集成MEMS差压流量计及其制备方法
本发明提供了一种单片集成MEMS差压流量计及其制备方法。本发明的单片集成MEMS差压流量计包括:MEMS差压芯片,节流器和电极信号接口,其中MEMS差压芯片的内部集成应力感应薄膜,压阻式应力敏感电桥和应力腔;节流器与ME...
张威
赵晓东
周浩楠
文献传递
一种传感器及其制备方法
本发明实施例涉及一种传感器及其制备方法,所述传感器包括MEMS力传感器芯片、压力传导部件、传感器芯片容置体和弹性片;所述传感器芯片容置体用于容纳所述MEMS力传感器芯片,具有开口端;所述弹性片中部具有圆孔,弹性片固定连接...
张威
周浩楠
文献传递
一种倒装式力传感器阵列
本发明提供了一种倒装式力传感器阵列,包括阵列式MEMS力传感器和柔性电路板。阵列式MEMS力传感器由m×n个MEMS力传感器组成,其中m≥1,n≥1;MEMS力传感器,选用十字梁结构,由力感应薄膜、惠斯通敏感电桥、框架和...
周浩楠
赵晓东
陈广忠
张亚婷
一种传感器及其制备方法
本发明实施例涉及一种力传感器及其制备方法,所述力传感器包括MEMS力传感器芯片,所述芯片包括基底,基底的上表面具有凹槽,基底的上表面上设置有压力敏感层;所述压力敏感层包括边框和压力敏感梁;所述边框部分地或完全地围绕凹槽设...
张威
周浩楠
文献传递
一种预留装药室形式的桥膜式换能元封装结构
本发明提供了一种预留装药室形式的桥膜式换能元封装结构,涉及火工品领域。一种预留装药室形式的桥膜式换能元封装结构,包括:桥膜式换能元芯片通过导电银胶粘接在热沉层,桥膜式换能元芯片的换能区上方为预留装药室,电极和热沉层位于桥...
张威
张良
周浩楠
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