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四川众力氟业有限责任公司

作品数：15 被引量：0H指数：0
相关机构：黎明化工研究设计院有限责任公司上海仪盟电子科技有限公司上海华爱色谱分析技术有限公司更多>>
相关领域：文化科学化学工程更多>>

合作机构

文献类型

  • 12篇专利
  • 2篇标准
  • 1篇科技成果

领域

  • 2篇化学工程
  • 2篇文化科学

主题

  • 9篇六氟化硫
  • 7篇精馏
  • 4篇四氟
  • 4篇四氟化碳
  • 4篇回收
  • 4篇回收处理
  • 4篇氟化
  • 4篇变压吸附
  • 3篇精馏设备
  • 3篇处理系统
  • 2篇电槽
  • 2篇电网
  • 2篇电子工业用气...
  • 2篇电子级
  • 2篇再利用技术
  • 2篇制冷
  • 2篇制冷循环
  • 2篇配电装置
  • 2篇气体
  • 2篇萃取

机构

  • 15篇四川众力氟业...
  • 2篇黎明化工研究...
  • 2篇大连大特气体...
  • 2篇佛山市华特气...
  • 2篇上海华爱色谱...
  • 2篇上海仪盟电子...
  • 1篇天津化工研究...
  • 1篇光明化工研究...
  • 1篇西南化工研究...
  • 1篇四川中测标物...
  • 1篇核工业理化工...

年份

  • 1篇2016
  • 6篇2014
  • 7篇2013
  • 1篇2012
共 15 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
工业六氟化硫
本标准规定了工业六氟化硫的要求、检验规则、试验方法、包装、标志、贮运及安全警示等。
黄晓磊牛学坤赖明贵傅涛刘长庆任清贵杜汉盛史淑慧李晓明曲庆王琪杨任张奎王宇方正常侠杨遂平石兆奇邓建平方华周鹏云
关键词：六氟化硫SULPHURFLUORIDEEXAMINATIONDEPOSITBRISTLES
电子工业用气体 六氟化硫
标准规定了六氟化硫的技术要求、试验方法、标志、包装、贮存及安全等。 本标准适用于硫与氟直接反应并经精制和纯化制备的六氟化硫。该产品主要用作电子工业中化学气相沉积室的清洗剂和等离子蚀刻剂等。
关键词：六氟化硫电子工程气体FLUORINESULPHURGASES
一种四氟化碳反应釜结构
本实用新型公开一种四氟化碳反应釜结构，水冷反应桥安装在反应釜主体上，水冷反应桥由多根冷水管组成，冷水管的进口与冷却水源进水管连接，冷水管的出口与冷却水源出水管连接，水冷反应桥的上部设置有碳粒层，反应釜主体在碳粒层的下方设...
李小明刘静涛曹勇
文献传递
一种电网用六氟化硫的回收处理系统
本发明公开一种电网用六氟化硫的回收处理系统，高压配电装置GIS与第一吸附塔连通，第一吸附塔与第二吸附塔连通，第二吸附塔与第三吸附塔之间设置有压膜机，第三吸附塔、第四吸附塔、第五吸附塔和第六吸附塔依次连通，第六吸附塔与第一...
李小明刘静涛曹勇
四氟化碳提取方法
本发明涉及化工领域，具体涉及四氟化碳提取方法。该方法包括A、将含有杂质的四氟化碳进行精馏；B、对步骤A精馏出的四氟化碳和轻组分进行萃取，排除轻组分，回收四氟化碳；对步骤A精馏出的四氟化碳和重组分进行精馏，得到四氟化碳；C...
李小明刘静涛曹勇
文献传递
一种应用于六氟化硫生产中的热解炉
本实用新型公开一种应用于六氟化硫生产中的热解炉，包括热解炉主体和加热线圈，所述加热线圈将所述热解炉主体套在线圈内并对所述热解炉主体加热，所述热解炉主体设置有接料口和出气口，所述热解炉主体内设置有多块折流板。与现有技术相比...
李小明刘静涛曹勇
文献传递
一种含氟盐废碱液再利用处理系统
本实用新型公开一种含氟盐废碱液再利用处理系统，所述输液泵将含氟盐废碱液输送至所述反应釜，所述反应釜的出口与所述压滤机连接，所述压滤机底部的液体进入沉降池，所述压滤机上部的滤渣进入离心机得到的滤液进入沉降池，所述沉降池内的...
李小明刘静涛曹勇
文献传递
四氟化碳提取方法和提取装置
本发明涉及化工领域，具体涉及四氟化碳提取方法和提取装置。该方法包括：A、将含有杂质的四氟化碳进行精馏；B、对步骤A精馏出的四氟化碳和轻组分进行萃取，排除轻组分，回收四氟化碳；对步骤A精馏出的四氟化碳和重组分进行精馏，得到...
李小明刘静涛曹勇
一种六氟化硫的纯化工艺
本发明公开一种六氟化硫的纯化工艺，采用变压吸附步骤和精馏步骤，能够将六氟化硫纯化为电子级（＞99.999）六氟化硫。
李小明刘静涛曹勇
文献传递
电子工业用气体四氟化碳新工艺技术开发
李小明黄清荣吕其明刘静涛唐跃进李刚曹勇
1、任务来源：该项目系由四川众力氟业有限责任公司根据市场状况及实际生产需要完成的自选项目。自2009年2月起，至2012年6月结束。2、应用领域四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子体蚀气体，广泛用于硅、二氧化硅、氮...
关键词：
关键词：四氟化碳电子器件
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共2页<12>
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