您的位置： 专家智库 > >

应用材料以色列有限公司

作品数：19 被引量：0H指数：0
相关机构：应用材料有限公司更多>>
相关领域：文化科学自动化与计算机技术更多>>

合作机构

文献类型

  • 19篇中文专利

领域

  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇文化科学

主题

  • 8篇晶片
  • 6篇有源
  • 6篇声光
  • 6篇声光器件
  • 6篇透镜
  • 6篇光器件
  • 6篇半导体
  • 6篇半导体晶片
  • 5篇电子束
  • 4篇带电粒子
  • 4篇电粒子
  • 4篇移动计算
  • 4篇散光
  • 4篇散焦
  • 4篇扫描数据
  • 4篇象散
  • 4篇光点
  • 2篇带电
  • 2篇电压
  • 2篇电压值

机构

  • 19篇应用材料以色...
  • 3篇应用材料有限...

年份

  • 1篇2023
  • 1篇2020
  • 1篇2014
  • 1篇2012
  • 3篇2010
  • 2篇2009
  • 1篇2008
  • 1篇2007
  • 8篇2005
共 19 条 记 录，以下是 1-10
全选 清除 导出
排序方式：
基于俄歇的薄膜计量
一种分析在试样的表面上的底层之上形成的薄膜的设备，该薄膜包括第一元素，同时底层包括第二元素。该设备包括导向电子束以撞击到在其上形成了薄膜的试样表面上的点上的电子枪。电子检测器接收由第一和第二元素响应撞击的电子束而发射的俄...
亚历山大·凯蒂塞维奇艾维·西蒙
文献传递
对准带电颗粒束列的方法与装置
本发明提供了一种方法，用于自动对准带电颗粒束与孔。从而引入散焦并基于图象移动计算的信号施加到偏转单元。进而提供了用于散光校正的方法。从而在改变到象散校正装置的信号时，对于产生的一组帧估计清晰度。
艾舍·珀尔
文献传递
具有行移透镜多光束扫描仪的晶片缺陷检测系统
一种使用提供光束(151)的激光源(101)检测样品如半导体晶片(108)的系统。光束(151)施加于具有有源区的行移透镜声光器件(104)并响应RF输入信号在有源区中选择地产生多个行移透镜。行移透镜声光器件(104)可...
H·费尔德曼E·叶利亚舍夫N·埃尔马利亚克R·纳夫塔利B·戈德堡S·赖因霍恩
文献传递
用于多束带电粒子检查装置的信号分离器
一种用于检查样本的多束带电粒子柱，包括用于朝向样本指引多个初级带电粒子束的源、用于检测来自样本的信号带电粒子的检测器，以及布置在检测器和样本之间的组合的磁偏转单元和静电偏转单元。磁偏转单元(61)包括磁性或铁磁性材料的多...
P·克瑞特R·纳夫塔利
对准带电颗粒束列的方法与装置
本发明提供了一种方法，用于自动对准带电颗粒束与孔。从而引入散焦并基于图象移动计算的信号施加到偏转单元。进而提供了用于散光校正的方法。从而在改变到象散校正装置的信号时，对于产生的一组帧估计清晰度。
艾舍·珀尔
文献传递
具有行移透镜多光束扫描仪的晶片缺陷检测系统
一种使用提供光束(151)的激光源(101)检测样品如半导体晶片(108)的系统。光束(151)施加于具有有源区的行移透镜声光器件(104)并响应RF输入信号在有源区中选择地产生多个行移透镜。行移透镜声光器件(104)可...
H·费尔德曼E·叶利亚舍夫N·埃尔马利亚克R·纳夫塔利B·戈德堡S·赖因霍恩
文献传递
用于检查对带电粒子有反应的抗蚀剂的系统和方法
一种用于扫描图形的设备和方法。本方法包括：(i)引导该带电粒子束，使之沿第一扫描路径与图形相互作用，和(ii)引导该带电粒子束，使之沿第二扫描路径与图形相互作用。图形作为与带电粒子束相互作用的结果，改变它的一种特性。第一...
班祖恩·森德尔奥菲尔·卓尔盖伊·艾坦
文献传递
用于检查对带电粒子有反应的抗蚀剂的系统和方法
一种用于扫描图形的设备和方法。本方法包括：(i)引导该带电粒子束，使之沿第一扫描路径与图形相互作用，和(ii)引导该带电粒子束，使之沿第二扫描路径与图形相互作用。图形作为与带电粒子束相互作用的结果，改变它的一种特性。第一...
班祖恩·森德尔奥菲尔·卓尔盖伊·艾坦
文献传递
用于多束带电粒子检查装置的信号分离器
一种用于检查样本的多束带电粒子柱，包括用于朝向样本指引多个初级带电粒子束的源、用于检测来自样本的信号带电粒子的检测器，以及布置在检测器和样本之间的组合的磁偏转单元和静电偏转单元。磁偏转单元(61)包括磁性或铁磁性材料的多...
P·克瑞特R·纳夫塔利
文献传递
对准带电颗粒束列的方法与装置
本发明提供了用于自动对准带电颗粒束与孔的方法。从而，束被偏转向孔的两个边缘。从获得消光所需的信号计算一校正偏转场。进而，提供了用于自动对准带电颗粒束与光轴的方法。从而引入散焦，且基于引入的图象移动计算的一信号施加到偏转单...
德洛·希米什
文献传递
全选 清除 导出
共2页<12>
聚类工具0