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奥克泰克有限公司

作品数：12 被引量：0H指数：0
相关机构：东京毅力科创株式会社揖斐电株式会社大日本网目版制造株式会社更多>>

合作机构

文献类型

  • 12篇中文专利

主题

  • 5篇氧化膜
  • 5篇探针
  • 4篇布线
  • 3篇电容
  • 3篇电容器
  • 2篇悬臂
  • 2篇升压
  • 2篇蚀刻
  • 2篇探针卡
  • 2篇片材
  • 2篇绝缘膜
  • 2篇开关
  • 2篇开关阵列
  • 2篇集中应力
  • 2篇焊盘
  • 2篇高速化
  • 2篇闭合开关
  • 2篇布线结构
  • 2篇查体
  • 1篇单晶

机构

  • 12篇奥克泰克有限...
  • 11篇东京毅力科创...
  • 3篇揖斐电株式会...
  • 1篇喜开理株式会...
  • 1篇大日本网目版...

年份

  • 1篇2010
  • 1篇2009
  • 2篇2008
  • 6篇2007
  • 2篇2006
共 12 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
电容器及其制造方法
本发明提供一种具有可以较短的烧固时间形成且质量较高的电介体层的电容器及其制造方法。通过气体供给源(112)等将处理装置(100)内的气氛调节为例如氧气氛等。使热处理装置(101)内的气氛为氧气氛，并使温度上升至预定程度。...
山西良树原田宗生北野高弘川口达三广田良浩松田健志山田欣司篠田智隆王道海奥村胜弥
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微小结构体的探针卡、微小结构体的检查装置以及检查方法
本发明提供一种具有可动部的微小结构体的检查方法，该检查方法不会损伤探针或检查用电极，并通过在探针与检查用电极接触的过程中抑制针压的影响来进行高精度的检查。当对微小结构体进行检查时，首先使一对探针(2)与各个电极焊盘(PD...
奥村胜弥八壁正巳池内直树
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开关阵列
在上部基板(15)的下表面的绝缘膜(14)上设有第一布线层(16)，在下部基板(11)上的绝缘膜(12)上设有与第一布线层(16)立体交差的第二布线层(13)，使悬臂(17)的一端与第一布线层(16)连接，使悬臂(17)...
林圣人八壁正巳长谷部铁也原田宗生奥村胜弥
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流程块
本发明提供了一种流程块，其压力损失得以减小，并且可以形成超长流程，而且其重量可以减轻。还提供了生产这种流程块的方法。流程块(1)具有块体(11)和盖子元件(12)，该块体内形成有通孔(21)和与该通孔(21)相通的凹槽(...
奥村胜弥板藤宽土居广树西村康典
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开关阵列
在上部基板(15)的下表面的绝缘膜(14)上设有第一布线层(16)，在下部基板(11)上的绝缘膜(12)上设有与第一布线层(16)立体交差的第二布线层(13)，使悬臂(17)的一端与第一布线层(16)连接，使悬臂(17)...
林圣人八壁正巳长谷部铁也原田宗生奥村胜弥
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微小结构体的探针卡、微小结构体的检查装置、检查方法、以及计算机程序
本发明提供一种具有可动部的微小结构体的检查方法，该检查方法不会损伤探针或检查用电极，并通过在探针与检查用电极接触的过程中抑制针压的影响来进行高精度的检查。当对微小结构体进行检查时，首先使一对探针(2)与各个电极焊盘(PD...
奥村胜弥八壁正巳池内直树
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微型结构体的检验装置、检验方法及检验程序
本发明提供了一种以简易方式高精度地检验具有微小可动部分的结构体的检验装置、检验方法及检验程序。在本发明中，从扬声器(2)输出测试声波。随着从扬声器(2)输出的作为压缩波的测试声波的到达、即空气振动，检测芯片(TP)的微型...
奥村腾弥八壁正巳池内直树松本俊行
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探针以及探针的制造方法
由于随着高速化，布线结构的细微化和薄膜化发展迅速，布线层已变得非常薄，所以，如果像以往那样对探针施加接触载荷来进行检查的话，则探针不仅会戳破氧化膜，还会穿透布线层，并且还会由于来自探针的集中应力而损伤布线层或绝缘层。相反...
奥村胜弥米沢俊裕
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电容器及其制造方法
本发明提供一种高质量的电容器及其制造方法。电容器(10)包括：形成在氧化膜(12)上的下部电极(13a)；形成在下部电极(13a)上的电介质层(14)；间隔电介质层(14)而与下部电极(13a)相对形成的上部电极(15a...
山西良树原田宗生北野高弘川口达三广田良浩山田欣司篠田智隆奥村胜弥河野秀一
文献传递
探针以及探针的制造方法
由于随着高速化，布线结构的细微化和薄膜化发展迅速，布线层已变得非常薄，所以，如果像以往那样对探针施加接触载荷来进行检查的话，则探针不仅会戳破氧化膜，还会穿透布线层，并且还会由于来自探针的集中应力而损伤布线层或绝缘层。相反...
奥村胜弥米沢俊裕
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