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恩特格里斯公司
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2篇
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2002
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过滤器及过滤器壳体
本实用新型涉及一种过滤器及过滤器壳体,所述过滤器具有:壳体,所述壳体具有第一端面和第二端面以及内表面和外表面;被设置在管状壳体内的膜;被密封到所述管状壳体的第一端面以及所述膜的所述第一端面的第一端盖;密封到所述管状壳体的...
B·L·格雷格森
C·P·巴克
文献传递
具有堆叠式支撑环的晶片运送装置
本发明涉及一种利用晶片支撑环将个别晶片支撑于其中的晶片运送装置。所述晶片支撑环可支撑各种厚度的晶片而不影响堆叠的高度,且在冲击事件期间提供在所述环内对驻存晶片的围阻。所述晶片及所述环协作以在所述晶片之间界定空隙,所述空隙...
埃里克·A·柯克兰
鲁塞尔·V·拉施克
文献传递
气体储存和分配容器
一种气体储存和分配容器包含储存器皿、第一气体压力调节器和第二气体压力调节器。所述储存器皿配置成容纳加压气体。所述气体储存和分配容器具有用于排放所述加压气体的排放流动路径。所述第一气体压力调节器设置在所述储存器皿内,并且所...
E·E·琼斯
J·R·德斯普雷斯
S·A·乌茨
调节对容器内部进行清洗的方法及装置
衬底容器包含清洗流分配系统。所述清洗流分配系统可将一或多个清洗气体输入流划分到气体分配装置的网络的多个气体分配表面。控制清洗的方法可包含配置所述衬底容器以在所述气体分配表面中的每一者处提供经确定的清洗气体流率。所述配置可...
M·A·富勒
M·V·史密斯
S·D·埃格刚
T·H·威尔基
C·J·哈尔
M·C·扎布卡
VI族前驱物化合物
本发明提供用于制备各种VI族前驱物化合物的简便方法,所述VI族前驱物化合物可用于将这类VI族金属气相沉积于固体衬底、尤其微电子半导体装置衬底上。所述方法提供获得这类挥发性材料的有效手段,然后所述挥发性材料可作为要沉积于所...
D·M·埃默特
T·H·鲍姆
R·小赖特
文献传递
用于玻璃成型模具的涂层及包括涂层的模具
本发明描述玻璃形成模具,其由石墨模具本体及通过原子层沉积形成的涂层制成,其中所述涂层由氧化铝或氧化铝及氧化钇的组合制成。
T·史考金斯
R·G·谢佩德
C·瓦尔德弗里德
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具有电弧室材料混合的离子植入系统
本发明描述一种用于离子植入的系统及方法,其包含:气体或包含至少一种可离子化气体的气体混合物,其用来产生离子物种;及电弧室,其包含两种或更多种不同电弧室材料。使用所述系统,在具有衬垫组合的所述电弧室中产生离子物种,且一或多...
唐瀛
S·N·叶达弗
J·R·德斯普雷斯
J·R·斯威尼
O·比尔
用以在流体中检测空气的系统及方法
实施例可在抽汲系统中检测空气。所述系统的一部分可与位于上游或下游的其它组件隔离。所述经隔离部分可包含腔室、管道、管线、阀门或泵的其它组件。在一实施例中,在活塞已移动预定距离后获得开始压力与结束压力之间的差。可将所述压力差...
特拉奇·L·巴彻尔德
詹姆斯·切德罗内
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用于过滤液体的过滤器组合件
本实用新型描述用于过滤液体的过滤器组合件。用于过滤液体的所述过滤器组合件包含过滤器壳体及安置于所述过滤器壳体的经围封空间中的滤筒。所述过滤器壳体包含附装到碗状物以形成所述经围封空间的盖。所述盖包含用于所述经围封空间的流体...
J·C·L·埃尔萨恩多
B·L·格雷格索恩
折射率传感器
本申请案涉及一种折射率传感器。用于使用具有测量表面的传感器来确定温度或温度相关变量的系统及方法包含:传感器主体,其具有一或多个壁且含有中间材料;窗,其提供测量表面;第一温度传感器,其在所述窗处或其附近获得第一温度;第二温...
M·曼弗雷德
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