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云南中科鑫圆晶体材料有限公司
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云南鑫耀半导体材料有限公司
昆明云锗高新技术有限公司
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云南鑫耀半导体材料有限公司
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王茺
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2009
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一种夹渣含杂的单晶锗废料除杂方法
本发明属于锗单晶生长技术领域,具体公开一种夹渣含杂锗废料除杂方法,包括以下步骤:单晶锗生长废料融化;废料夹渣降温再结晶:锗废料完全融化为熔融态后,调整加热功率使温度下降15℃~50℃,使熔体再结晶;腔室流场控制:经过再结...
刘得伟
李宝学
杨涛
尹正雄
赵伟
周安祥
陆贵兵
普世坤
文献传递
一种锗熔体浮渣清除方法
一种锗熔体浮渣清除方法,涉及浮渣清除技术领域,尤其是一种锗熔体浮渣清除方法。本发明的方法瞬间改变炉内压力,使熔体液面在压力差的作用下发生对流,浮渣在热对流的影响下漂移至炉体中央,之后将锗单晶作为浮渣提出的工具,多次反复重...
李宝学
包文东
赵飞宇
罗玉萍
文献传递
区熔提纯高纯锗晶体材料的装料容器
本实用新型涉及区熔提纯高纯锗晶体材料的容器。为双层石英舟,双层石英之间抽真空处理,然后填充石墨层,石英舟后端设置一个挡板,将石英舟后端隔离出一个杂质收集槽,杂质收集槽为单层石英结构,挡板上还设置了凹槽。产生的熔区比传统的...
包文臻
任洋
李学洋
柳廷龙
普世坤
文献传递
一种大尺寸VGF法锗单晶生长装置及方法
本专利技术属于化合物半导体晶体生长领域,具体公开一种大尺寸VGF法锗单晶生长装置及方法,包括支撑系统和石英安瓿瓶,石英安瓿瓶放置于支撑系统上,所述支撑系统包括外保温层,所述外保温层距离顶部和底部一定距离的横截面上设置有第...
韩家贤
韦华
何永彬
王顺金
吕春富
李国芳
刘吉才
唐康中
文献传递
去除锗单晶片酸化学腐蚀后表面蓝色药印的方法
本发明涉及一种去除锗单晶片酸化学腐蚀后表面蓝色药印的方法,包括以下步骤:(1)配制氢氧化钠和过氧化氢混合水溶液;(2)将经过腐蚀后表面有蓝色药印的锗单晶片放入配制好的水溶液中进行处理;(3)将处理之后的锗单晶片清洗干净,...
何杰
肖祥江
李苏滨
惠峰
李雪峰
柳廷龙
李武芳
周一
杨海超
候振海
囤国超
田东
文献传递
制备13N超高纯锗单晶的方法及设备
一种制备13N超高纯锗单晶的方法及设备,涉及高纯半导体材料制备技术领域,尤其是一种探测器用13N超高纯度的锗单晶的制备方法和设备。本发明的制备13N超高纯锗单晶的设备,其特征在于该设备包括石英舟、石英管、区熔线圈和区熔小...
普世坤
李学洋
董汝昆
惠峰
柳廷龙
张朋
钟文
赵燕
包文瑧
滕文
文献传递
磷化铟多晶料VGF或VB法生长单晶的装料方法
磷化铟多晶料VGF或VB法生长单晶的装料方法,涉及半导体材料单晶生长技术领域,具体涉及一种VGF法磷化铟单晶生长所需的多晶料及辅料的装料方法。本发明通过合理分配磷化铟多晶料的装料配比和不同尺寸料块的装料位置,以及红磷、掺...
赵兴凯
邱锋
权忠朝
韦华
叶晓达
柳旭
徐仁勇
刘文斌
韩家贤
王顺金
李国芳
晶棒多线切割后的晶片脱胶清洗台
晶棒多线切割后的晶片脱胶清洗台,涉及工业应用领域。本实用新型包括主体、清洗系统、加热器、抽风口和喷淋管,清洗系统安装在主体中间,加热器安装在清洗系统下部,与清洗系统接触;抽风口安装在主体上部,位于清洗系统上方;喷淋管设置...
吕欣泽
李国庆
陈飞宏
刘汉保
唐开华
彭兴奎
束本文
王茺
杨德艳
VGF晶体生长用超大直径石英管的真空封焊方法
VGF晶体生长用超大直径石英管的真空封焊方法,属于VGF晶体生长技术领域,具体涉及一种用于VGF法真空生长超大直径晶体的石英管封焊的方法。本发明方法中使用的是热应力检测合格的石英管和石英管封帽,在将石英管和石英管封帽清洗...
包文瑧
何永彬
唐康中
陈学富
刘晋
王顺金
韩家贤
低颗粒度、低暗点半绝缘砷化镓晶片的制备方法
低颗粒度、低暗点半绝缘砷化镓晶片的制备方法,属于半导体衬底材料制备技术领域。本发明的方法具体为将7N砷化镓多晶和半绝缘砷化镓晶体回料按一定比例配料,利用腐蚀液清洗多晶料及回料表面杂质及附着物,并将砷化镓多晶料、回料、氧化...
王顺金
惠峰
韩家贤
刘汉保
柳廷龙
韦华
普世坤
赵兴凯
何永彬
唐康中
吕春富
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