中国科学院科学仪器厂
- 作品数：81 被引量：26H指数：3
- 相关作者：刘绪平李文恩曾朝伟吴明均叶涛更多>>
- 相关机构：中国科学院北京大学清华大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信一般工业技术机械工程理学更多>>
- 用离子注入样品作标样检测离子探针灵敏度的探讨
- 1990年
- 本文概述了离子探针注入层杂质浓度的一般测量方法,分析了离子探针测量过程中影响得到其实际浓度分布的诸因素。探讨了利用离子注入深度分布样品作标样求检定离子探针仪器灵敏度指标时存在的问题及其解决方法。
- 王理
- 关键词：离子探针质谱仪灵敏度
- 双道X射线分光光谱仪及其与扫描电子显微镜的匹配被引量：1
- 1981年
- 本X光谱仪是一种线性全聚焦弯晶谱仪。装备在扫描电镜上后,可使之兼具电子探针X光微区分析仪的功能。本文重点讨论了X光光谱仪的几何精度、分光晶体的制备、光谱仪与电子光学镜筒的匹配衍射峰值强度的提高、本底噪音的减低以及同轴光学显微镜的匹配等问题。X光谱仪的总几何精度应为±1′,重复精度为6″。实际结果表明,元素分析范围为B^5(Be^4)～U^(92);波长分辨率△λ/λ为1～5×10^(-3)(Na^(11)～U^(92))及1～5×10^(-2)(B^5～F^9),可分开Cu,Fe,Ti等元素的K_(α1,α2)谱线,Ti-6A1-4V合金中VK_(α1),VK_(α2)及TiK_β谱线;波长重复性为0.00014A;探测限对Na^(11)～U^(92)为10^(-3)％量级,B^5～F^9为10^(-2)％量级。
- 姚骏恩余建业黄同节张肇华姚文浩李文恩韩大年谢信能
- 关键词：X射线扫描电子显微镜光学显微镜微区分析电子探针
- 一个扫描电镜中频闪系统
- 刘绪平余健业黄兰友
- 关键词：集成电路扫描电子显微镜脉冲束电子束系统设计
- KYKY2000型扫描电子显微镜图像处理
- 1990年
- KYKY2000型扫描电镜的图像信号具有多种处理方法。(一)模拟信号图像处理器。这部分保留了1000B型SEM的图像处理器。它可以把从前置放大器输出的视频信号做微分、积分,滤波等处理,并可选择时间常数、经处理的信号送至A/D转换器或直接送至CRT照相。(二)数字信号实时处理器。该电镜采用了平均滤波器及DALMAN滤波器。这两种滤波器均由硬件组成。它们均可以把采集到的数字图像信号做实时处理。用平均滤波器对采集到的数字信号最多做256次平均处理,然后送至帧存贮器。KALMAN滤波器也可做实时归滤波。
- 李明强王克定
- 关键词：扫描电镜图象处理
- KYKY2000型数字化扫描电子显微镜被引量：2
- 1990年
- KYKY2000型数字化扫描电镜的主要特点是引入了图象处理功能。整个系统由一台主计算机控制,部件之间使用数字通讯传递信息,使仪器的自动化程度有了很大的提高,其电器系统的简要框图见附图。图中面板控制是由电镜控制面板上的一些按键和光编码器组成,其与主计算机的键盘一起使得整个系统操作简便,可靠性强。电子光学及放大倍数控制系统主要是由一个Z80微机来控制透镜、对中、消象散器、亮度对比度等各种电源及放大倍数,并完成与主机的通讯任务,使得主机能够对电子光学系统做各种自动控制。编程扫描发生器的核心也是一个Z80微机。
- 王克定马瑷张永明李明强马秀珍钱天宇郭烈阳
- 关键词：数字化扫描电镜
- SEM编程扫描信号发生器
- 1990年
- 本编程扫描信号发生器是为KYKY2000型扫描电子显微镜开发研制的。其主要特点是除了输出送往电镜镜筒及照相CRT的模拟扫描信号外,还输出送往图象存贮器的数字地址信号。发生器的各种扫描方式及状态完全由软件程序来控制,使硬件结构大大简化,且便于与主计算机通讯,实现各种自动控制功能。此编程扫描发生器的核心是一块Z80微机板,它有自己的RAM和ROM,存放一些控制程序和参数。使用一个可编程定时器,产生各种扫描方式下的数字扫描信号,再经D/A变换而成镜筒和照相CRT所需要的模拟信号形式。扫描方式有面、点、线、选区、分割、双放及分割选区等。
- 张永明王克定
- 关键词：SEM扫描电镜信号发生器编程
- 通用型六硼化镧单晶阴极
- LaB极电子枪具有亮度高、寿命长、交叉点小,能量分散度小、相干性好、束流稳定性好等优点,目前已逐渐取代发叉式钨丝阴极而广泛用于各种仪器。由于生产厂家和型号的不同,电子枪和阴极支架的结构也各不一样,彼此不能通用。为了便于推...
- 曾朝伟李文恩李英
- 文献传递
- 关于离子探针灵敏度的检验被引量：1
- 1984年
- 本文对参考文献[2]以及两台进口IMA-2离子探针的灵敏度检测数据提出不同看法。这个结论已在国产LT-1A 离子探针上得到证实。另外还提出用信噪比验证二次离子质谱检测灵敏度的方法。这种方法在日常试验中颇为方便可靠。
- 王理叶涛魏耀荣
- 关键词：离子探针标样信噪比
- 原子探针的研制被引量：1
- 1990年
- 本文叙述直线型原子探针的设计和制造技术,其质量分辨本领M/△M≈300,探测效率约50%。文中还讨论了提高质量分辨本领的方法。
- 刘永昌李士丽陈之和傅锟明肖桂里
- 关键词：原子探针探针
- 逆扩散型氦质谱检漏仪在冰箱检漏工作中的应用
- 1990年
- 逆扩散型氦质谱检漏仪可以直接用吸枪对冰箱检漏。这种方法检测灵敏度高、操作 简便、无需液氮、无需辅助真空设备、无需排风设备、无毒、无害且能达到Ａ级冰箱检 测标准。
- 叶涛
- 关键词：冰箱检漏氦质谱检漏仪
