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株式会社平间理化研究所

作品数：56 被引量：0H指数：0
相关机构：长濑产业株式会社长濑CMS科学技术株式会社更多>>

合作机构

文献类型

  • 56篇中文专利

主题

  • 20篇显影液
  • 14篇抗蚀剂
  • 13篇原液
  • 13篇光度计
  • 12篇再生液
  • 12篇补给
  • 11篇蚀刻
  • 11篇蚀刻液
  • 9篇基板
  • 9篇光致
  • 9篇光致抗蚀剂
  • 8篇药液
  • 8篇显影
  • 7篇调制
  • 7篇配管
  • 7篇回收
  • 7篇补给装置
  • 6篇氧化碳
  • 6篇显示器
  • 6篇计测

机构

  • 56篇株式会社平间...
  • 20篇长濑产业株式...
  • 13篇长濑CMS科...

年份

  • 2篇2019
  • 18篇2018
  • 7篇2017
  • 5篇2016
  • 2篇2012
  • 1篇2009
  • 1篇2008
  • 1篇2007
  • 3篇2006
  • 2篇2005
  • 1篇2004
  • 5篇2003
  • 3篇2002
  • 2篇2001
  • 1篇1999
  • 1篇1998
  • 1篇1995
共 56 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
显影液成分浓度测定方法及装置、显影液管理方法及装置
提供一种显影液的成分浓度测定方法及装置、显影液管理方法及装置，根据显影液的特性值，高精度地计算呈碱性的显影液的碱性成分、所溶解的光致抗蚀剂、所吸收的二氧化碳等各成分的浓度，将显影液的显影性能维持并管理成最佳状态。通过测定...
中川俊元
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蚀刻液管理装置、溶解金属浓度测定装置及测定方法
本发明提供一种对蚀刻液的成分浓度进行监视并且对溶解金属浓度进行监视，以使成分浓度固定的方式自动地补给补充液并且对溶解金属进行分离回收的蚀刻液管理装置、溶解金属浓度测定装置及测定方法。所述蚀刻液管理装置具备：第一物性值测定...
中川俊元白井浩之
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显影装置
本发明提供能够维持所期望的显影性能并维持基板上的布线图案的所期望的线宽及剩余膜厚的显影装置。显影装置具备：显影液调制装置，其将包含显现碱性的显影液的主成分的显影原液与纯水混合，而调制浓度被设定好的所述显影液作为显影新液；...
中川俊元
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蚀刻液调合装置及蚀刻液浓度测定装置
本发明提供在半导体制造工厂或平板显示器制造工厂的使用侧，能够将铝的蚀刻液的硝酸浓度、水分浓度、磷酸浓度及醋酸浓度恒定地调合的蚀刻液调合装置。其具备：检测用纯水稀释调合槽内的蚀刻液而形成的稀释液的电导率的电导率计或检测蚀刻...
中川俊元佐藤寿邦
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显影液的二氧化碳浓度显示装置及显影液管理装置
本发明提供显影液的二氧化碳浓度显示装置及显影液管理装置。它们具备密度仪，用于测定显影液的密度。与碱成分等其它成分的浓度无关地在显影液的密度与吸收二氧化碳浓度之间具有良好的对应关系。二氧化碳浓度显示装置基于密度的测定值，根...
中川俊元
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固体粒子回收去除装置及液体、溶液、蚀刻液的管理装置
本发明提供节省空间且能够缩短处理时间的固体粒子回收去除装置、具备该固体粒子回收去除装置的液体管理装置以及蚀刻液管理装置。该固体粒子回收去除装置具备：壳体(35)，其形成为筒状；中心轴(36a)，其设置在壳体(35)内；螺...
中川俊元白井浩之
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显影液的管理方法及装置
提供一种显影液的管理方法及装置，能够实现可维持期望的显影性能且可维持期望的线宽及剩余膜厚的显影处理。显影液管理装置(D)具备控制单元(21)，该控制单元具备：数据存储部(23)，保存导电率数据，该导电率数据具有在确定反复...
中川俊元
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显影装置
本发明提供能够对被显现碱性的显影液吸收的二氧化碳的浓度进行测定并对显现碱性的显影液的吸收二氧化碳的浓度进行管理的显影装置。显影装置具备：显影液调制装置，其将包含显现碱性的显影液的主成分的显影原液与纯水混合，调制出浓度被设...
中川俊元
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非水系保护膜剥离液管理装置及管理方法
按照本发明的非水系保护膜剥离液管理装置，是在调整槽内对在保护膜剥离设备中使用的非水系保护膜剥离液进行管理的非水系保护膜剥离液管理装置。在本装置中，在保护膜剥离处理槽(调整槽)中，通过管路将测定非水系保护膜剥离液中的MEA...
中川俊元片桐优子小川修森田悟菊川诚
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水系保护膜剥离液管理装置及水系保护膜剥离液管理方法
按照本发明的水系保护膜剥离液管理装置，是在调整槽内对在保护膜剥离设备中使用的水系保护膜剥离液进行管理的水系保护膜剥离液管理装置。在本装置中，在保护膜剥离处理槽(调整槽)中，通过管路将测定水系保护膜剥离液中的水分浓度的吸光...
中川俊元片桐优子小川修森田悟菊川诚
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