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国家重点实验室开放基金(DL003)

作品数：1 被引量：8H指数：1
相关作者：张萍萍马艳张宝武李同保更多>>
相关机构：中国计量学院同济大学清华大学更多>>
发文基金：国家重点实验室开放基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇理学

主题

  • 1篇原子光刻
  • 1篇特性分析
  • 1篇驻波场
  • 1篇蒙特卡罗
  • 1篇蒙特卡罗方法
  • 1篇激光
  • 1篇激光光学
  • 1篇激光驻波场
  • 1篇光刻
  • 1篇光学
  • 1篇铬

机构

  • 1篇清华大学
  • 1篇同济大学
  • 1篇中国计量学院

作者

  • 1篇李同保
  • 1篇张宝武
  • 1篇马艳
  • 1篇张萍萍

传媒

  • 1篇光学学报

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
激光会聚铬原子光栅三维特性分析被引量：8
2011年
采用近共振激光驻波场会聚铬原子沉积技术制作的原子光栅可以作为纳米级长度计量标准。基于粒子光学模型,综合考虑横向发散角、纵向速度分布以及同位素等影响因素,采用蒙特卡罗方法确定原子运动的初始条件,对激光驻波会聚原子的三维特性进行了研究。获得了不同激光功率下沉积条纹的三维结构,分析了纵向高斯激光分布和椭圆高斯激光截面对沉积条纹的影响。模拟结果表明,当激光功率为40mW时,可观测的纳米光栅图案能在基板87%区域内出现,对应于高斯光束中心处条纹半峰全宽为31nm。当高斯激光束截面为圆形时,沉积质量较好。
张萍萍马艳张宝武李同保
关键词：激光光学原子光刻激光驻波场蒙特卡罗方法
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