江西省科技支撑计划项目(20122BBE500040)
- 作品数：2 被引量：2H指数：1
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- 相关机构：南昌航空大学更多>>
- 发文基金：江西省科技支撑计划项目江西省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学机械工程更多>>
- 白光干涉数据的三维去噪研究被引量：1
- 2015年
- 介绍了白光干涉系统噪声来源及其对白光干涉图像的影响;扫描白光干涉过程中既引入了时间噪声,又引入了空间噪声,使干涉数据的噪声呈复杂的时空分布;只对干涉数据进行单分量的传统去噪方法无法完全去除噪声,且会造成图像数据的畸变;利用三维噪声理论分析了白光干涉系统的噪声特性,并对干涉数据进行时间和空间分量的噪声处理,在去除噪声的同时,又避免了原始数据发生时空畸变;为了实现实时处理,设计了相应的基于图形处理器(Graphic Processing Unit,GPU)的并行算法,解决了三维去噪与重建耗时严重的问题。
- 王代君陈春根朱丽华邹文栋
- 关键词：白光干涉三维噪声GPU
- 菲涅耳微透镜芯模表面形貌的检测及加工误差分析被引量：1
- 2013年
- 采用扫描白光干涉法对菲涅耳微透镜芯模表面浮雕结构进行了检测,并对元件表面微观形貌进行了三维重建。根据其表面形貌数据,引入幅度参数表征法,分别计算出横向线宽误差以及样品的系统刻蚀深度误差和随机刻蚀深度误差等纵向加工偏差。通过表面高度分布的偏斜度、表面高度分布的峭度等参数获得了有关微芯模表面误差和缺陷的量化信息。实验研究表明,扫描白光干涉法能精确定量化表征微芯模表面形貌特征,这对探索适用于新型微光学器件表面三维形貌误差的无损检测评价方法具有实际意义。
- 邹文栋刘佳王星星江茂清龚勇清
- 关键词：芯模三维形貌
