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贵州省科学技术基金(JLKS2010-10)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：黄代洪李琼敏周勋韦俊更多>>
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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇多层膜
  • 1篇椭偏仪
  • 1篇溅射
  • 1篇光学
  • 1篇光学常数
  • 1篇CR
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射
  • 1篇PD

机构

  • 1篇贵州师范大学

作者

  • 1篇韦俊
  • 1篇周勋
  • 1篇李琼敏
  • 1篇黄代洪

传媒

  • 1篇真空

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
Cr层厚度对Pd/Cr/Co多层膜光学性质的影响
2013年
本文利用磁控溅射的方法生长不同Cr插层厚度的Pd/Cr/Co多层膜,并利用椭偏仪对多层膜的光学常数进行测量。得到了入射光波长在250nm-850nm范围内多层膜的折射率、反射率、吸收系数以及复介电常数的曲线,在此数据的基础上分析了Cr插层厚度对多层膜光学参数的影响。
李琼敏周勋韦俊黄代洪
关键词：多层膜光学常数椭偏仪磁控溅射
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共1页<1>
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