教育部“新世纪优秀人才支持计划”(NCET-10-0077)
- 作品数：2 被引量：3H指数：1
- 相关作者：常洪龙周平伟杨勇谢中建陈方更多>>
- 相关机构：西北工业大学更多>>
- 发文基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- MEMS陀螺六阶连续带通多反馈∑△M闭环控制系统（英文）被引量：1
- 2013年
- 设计了一种用于MEMS陀螺敏感模态的六阶连续带通多反馈∑ΔM闭环控制系统,以及相应的系统参数多目标优化方法.与以往的低通∑△M闭环控制系统相比,该系统不仅具有更好的噪声整形特征,能较大程度抑制陀螺噪声,而且易于在PCB电路上实现.由于整个闭环系统非常复杂且非线度较高,采用遗传算法对系统参数进行了多目标优化.系统优化之后的仿真结果显示,当输入角速度为200°/s时,在64 Hz带宽范围内陀螺信号的信噪比可大于90 dB,底噪为-120 dBV/(Hz)^(1/2).最后采用常压封装的z轴全对称解耦结构的绝缘体上硅陀螺在PCB电路上进行了系统功能验证,测试结果显示系统具有明显的带通噪声整形特征,陀螺底噪为-100 dBV/(Hz)^(1/2).
- 陈方苑伟政常洪龙杜松杰
- 关键词：陀螺噪声整形
- 基于间断性腐蚀法的铂热敏传感器的研制被引量：2
- 2012年
- 针对铂湿法刻蚀工艺,提出了间断性腐蚀法,并与边腐蚀边搅拌法和静止法进行了对比,结果显示该方法腐蚀铂曲线光滑、效果好。之后,以普通硅片作为衬底材料,二氧化硅作为隔热层,采用上述微机电(MEMS)工艺加工制作了铂热敏传感器。经热敏性能测试,其电阻温度系数在20℃～80℃时为1571.2×10-6/℃;同一批次电阻阻值均匀性为0.35%;非线性度为0.57%;热时间常数为1.1μs;在0.5 h的稳定性测试中其变化幅值为0.005Ω,即精度为0.01%。该热敏传感器制作工艺简单,性能优异,可用于温度敏感、气体传感等热敏传感。
- 杨勇常洪龙谢中建周平伟
- 关键词：MEMS传感器电阻温度系数
