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国家科技重大专项(2009ZX02010-038)

作品数：1 被引量：4H指数：1
相关作者：王大伟杜海文杨文伟续艳鑫更多>>
相关机构：太原理工大学中国电子科技集团更多>>
发文基金：国家科技重大专项更多>>
相关领域：电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇等离子清洗
  • 1篇低压
  • 1篇自由能
  • 1篇接触角
  • 1篇表面自由能

机构

  • 1篇太原理工大学
  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇续艳鑫
  • 1篇杨文伟
  • 1篇杜海文
  • 1篇王大伟

传媒

  • 1篇电子工艺技术

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
在线低压等离子清洗研究被引量：4
2011年
介绍了一种高效环保的在线等离子清洗方法,深入研究了低压下等离子的清洗原理和在线式的清洗机制,提出了介质气体的选配原则,分析了检测表面自由能和洁净程度的接触角测试方法。通过实验,在氩等离子在线清洗中,用接触角测试仪测定固体表面清洗前后粘附功的变化,发现在氩等离子清洗后固体表面粘附功提高了54.7%,相对于普通的射频等离子清洗其效率提升了约75%。
杨文伟杜海文王大伟续艳鑫
关键词：接触角等离子清洗表面自由能
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共1页<1>
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