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CrAlN/TiAlN纳米多层膜的微结构及其性能研究被引量：4: 2013年; 采用磁控反应溅射法制备了不同调制周期的CrAlN/TiAlN纳米多层膜,并通过X射线衍射仪、显微硬度计、扫描电镜分析了调制周期对多层膜的微结构、力学性能和高温抗氧化性能的影响。结果表明:CrAlN/TiAlN纳米多层膜共格外延生长,呈现CrAlN(或TiAlN)面心立方结构,且呈(111)择优取向;CrAlN/TiAlN纳米多层膜在某些调制周期出现硬度异常升高的超硬度效应;CrAlN/TiAlN纳米多层膜比CrAlN,TiAlN单层膜具有更好的高温稳定性,高温时仍具有较高的硬度。; 苏波钟春良罗兰娥; 关键词：磁控溅射微结构高温稳定性

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湖南省教育厅科研基金(12C0096)