国家自然科学基金(10875125)
- 作品数：2 被引量：14H指数：1
- 相关作者：刘刚熊瑛田扬超黄新龙陈光焱更多>>
- 相关机构：中国科学技术大学中国工程物理研究院电子工程研究所更多>>
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- 相关领域：电子电信电气工程更多>>
- UV-LIGA技术制作微型螺旋形加速度开关被引量：14
- 2010年
- 微型加速度开关是用于空间飞行体中感受加速度并完成致动的重要惯性器件。本文采用UV-LIGA技术,结合SU-8厚胶工艺、微电铸工艺以及牺牲层技术,制作了微型螺旋形加速度开关。研究了牺牲层工艺、SU-8光刻技术以及螺旋形弹簧形变控制等微细加工的工艺细节;分析了多种牺牲层材料的特性,优选了与工艺相适应的Zn牺牲层体系,解决了微结构易脱落的工艺问题。通过优化微电铸工艺来减小金属膜层的内应力,优化牺牲层释放工艺来避免腐蚀过程对弹簧膜结构的冲击。实验结果表明,通过工艺优化可得到平整的微型螺旋形弹簧—质量块结构,螺旋弹簧厚度为20μm,质量块厚度达200μm,本文的工作可为大批量、低成本地研制微型加速度开关提供工艺基础。
- 黄新龙熊瑛陈光焱田扬超刘刚
- 关键词：UV-LIGA牺牲层技术
- 基于辅助结构实时监测大高宽比纳米结构显影过程的方法研究
- 2012年
- 提出了一种引入辅助结构作为显影过程的监测对象来实现对大高宽比纳米结构高度变化进行实时无损监测的方法。随着结构高度的变化,矩形光栅表现出明显的光学性质的变化,便于进行光学监测,适合用作辅助结构。使用光栅负一级和正一级衍射效率两个参数作为监测依据,首先通过观测它们的起伏变化得到结构大致的高度范围,然后通过观测负一级与正一级的比值得到结构高度的精确值,从而实现对大高宽比纳米结构高度的实时监测。以高度为3μm的纳米结构为例,设计了线密度为50线/mm和160线/mm的矩形光栅作为辅助结构来监测显影过程中结构高度的变化。模拟结果表明,通过监测光栅衍射效率的变化可以有效地监测纳米结构高度的变化,该方法适用于对大高宽比纳米结构的显影过程进行实时监测。
- 崔焕焕刘刚周杰熊瑛田扬超
- 关键词：微机电系统实时监测衍射效率
