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云南省自然科学基金(2002E0009M)

作品数：2 被引量：5H指数：1
相关作者：刘焕林郝瑞亭杨宇陈刚更多>>
相关机构：中国科学院云南大学更多>>
发文基金：云南省自然科学基金更多>>
相关领域：理学电子电信更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇理学
  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇离子束
  • 2篇离子束溅射
  • 2篇溅射
  • 2篇溅射制备
  • 2篇红外
  • 2篇红外探测
  • 2篇红外探测材料
  • 1篇性能研究
  • 1篇红外吸收

机构

  • 2篇云南大学
  • 2篇中国科学院

作者

  • 2篇杨宇
  • 2篇郝瑞亭
  • 2篇刘焕林
  • 1篇陈刚

传媒

  • 1篇人工晶体学报
  • 1篇中国材料科技...

年份

  • 2篇2006
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
离子束溅射制备Si/Ge多层膜及红外吸收性能研究被引量：5
2006年
采用离子束溅射方法在S i衬底上制备S i/Ge多层膜。通过改变生长温度、溅射速率等因素得到一系列S i/Ge多层膜样品。通过X射线衍射、拉曼散射、原子力显微分析(AFM)等表征方法研究薄膜结构与生长条件的关系。在小束流(10mA)、室温条件下制备出界面清晰、周期完整的S i/Ge多层膜。通过红外吸收谱的测量发现薄膜样品具有较好的红外吸收性能。
刘焕林郝瑞亭杨宇
关键词：离子束溅射红外探测材料
离子束溅射制备Si／Ge多层膜研究
2006年
采用离子束溅射方法在Si衬底上制备Si／Ge多层膜，通过改变生长温度、溅射速率等因素得到一系列Si／Ge多层膜样品；通过X射线衍射、Raman散射等表征方法研究薄膜结构与生长条件的关系。在小束流（10mA）、室温条件下制备出界面清晰、周期完整的Si／Ge多层膜。
刘焕林郝瑞亭陈刚杨宇
关键词：离子束溅射红外探测材料
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