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上海市科学技术委员会科研基金(09ZR1434300)
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1
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相关作者:
谭默言
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朱京涛
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基于评价函数的极紫外多层膜反射式起偏器和检偏器设计
2011年
基于三种不同评价函数,利用全局优化算法设计了极紫外波段高性能反射式多层膜偏振元件。通过比对不同评价函数的设计结果,分析了评价函数、工作角度及膜层数对反射式多层膜偏振片性能的影响,确定了极紫外多层膜反射式偏振片设计的角度选择、膜层数选择及评价函数选择标准。为解决传统的单一性能优化造成的偏振度损失的问题,构造了偏振比对数结合反射率的评价函数,该方法设计的偏振元件性能优于传统优化方法设计的结果。
谭默言
朱京涛
王占山
关键词:
多层膜
偏振
极紫外
评价函数
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