国家中长期科技发展规划重大专项
- 作品数：257 被引量：1,047H指数：18
- 相关作者：刘玉岭王辰伟牛新环闫辰奇孙鸣更多>>
- 相关机构：河北工业大学北京空间飞行器总体设计部北京控制工程研究所更多>>
- 发文基金：河北省自然科学基金国家自然科学基金河北省教育厅科研基金更多>>
- 相关领域：航空宇航科学技术电子电信自动化与计算机技术金属学及工艺更多>>
- 多层铜互连阻挡层CMP中缺陷的研究
- 随着集成电路制造技术的不断发展，晶圆尺寸越来越大，集成度越来越高，特征尺寸越来越小，所以对多层铜互连阻挡层化学机械研磨中产生的缺陷要求越来越苛刻，特征尺寸越小，能容忍的缺陷尺寸也就越小。缺陷主要包括：铜残留、划伤、表面沾...
- 张凯
- 关键词：集成电路化学机械研磨
- 文献传递
- Cu CMP平坦化中螯合剂与氧化剂的协同作用
- 2015年
- 研究了在铜化学机械抛光(CMP)平坦化中螯合剂与氧化剂的协同作用。铜CMP抛光液主要由SiO2磨料、非离子表面活性剂、螯合剂和氧化剂组成。针对不同比例螯合剂与氧化剂的协同作用,分别对抛光/静态腐蚀速率、电化学、片内非均匀性及平坦化、表面粗糙度进行了检测。通过对实验数据进行理论分析,研究表明当螯合剂与氧化剂的比例约为1∶1时,平坦化效果最好。研究为进一步优化抛光液配比,最终实现Cu CMP的全局平坦化提供了一定的理论基础。
- 闫辰奇刘玉岭张金王辰伟张燕邓海文安春燕
- 关键词：CMP螯合剂氧化剂平坦化
- 嫦娥工程技术发展路线被引量：26
- 2015年
- 月球是距离地球最近的天体,以其独特的空间位置、广阔的科学探索前景,成为人类地外天体探测和资源利用的首选目标和持续选择。简要总结世界各主要航天大国的探月发展历程和后续计划,详细介绍了我国探月工程(嫦娥工程)"绕""落""回"三步走的发展思路和技术路线,分析了后续的发展方向,提出了2030年前月球机器人科研站任务设想。
- 裴照宇王琼田耀四
- 关键词：月球探测嫦娥工程机器人
- 月球软着陆过程高精度自主导航避障方法被引量：18
- 2014年
- 针对未知地形和障碍会危及着陆安全的问题,给出了一种月球软着陆过程高精度自主导航避障方法,主要包括基于IMU配以测距测速修正的自主绝对导航、障碍识别与目标着陆点选取、针对目标着陆点的相对导航与相对避障控制等算法。该方法在保证着陆精度的同时也大大降低了着陆过程遇到障碍的风险,提高了系统的安全性,已成功应用于实际工程任务。
- 王大轶李骥黄翔宇张洪华
- 关键词：自主导航自主避障月球软着陆
- 超精密加工中铜表面CMP后残余金属氧化物的去除被引量：3
- 2017年
- 多层铜布线经过化学机械平坦化(CMP)后,铜线条表面会残留CuO颗粒,它会对器件的稳定性有很大的影响,因此在CMP后清洗时必须把CuO从铜表面去除。这就要求有一种可以有效去除铜表面CuO的清洗剂。本研究中提出的新型复合清洗剂主要解决两个问题:一个是CuO的去除,另一个是防止清洗液对铜表面造成腐蚀。清洗剂的主要成分有两种,一种是FA/OⅡ型碱性螯合剂,它主要用来去除CuO,另一种是FA/OI型表面活性剂,它主要用来解决铜表面的腐蚀问题。通过在铜光片的表面生成氧化铜膜层,利用清洗剂对氧化层的清洗能力来反映其对于CuO的去除能力。表面活性剂的抗腐蚀能力主要通过电化学实验来反映。最后通过对清洗后12英寸图形片上的缺陷分析,验证清洗液对抛光后铜表面残余CuO实际清洗效果。结果表明,本文提出的复合清洗剂在不腐蚀铜表面的前提下能有效去除CuO,并且对晶圆表面缺陷的整体去除效果良好。
- 顾张冰牛新环刘玉岭高宝红王辰伟邓海文
- 关键词：腐蚀抑制剂
- “嫦娥三号”探测器软着陆自主导航与制导技术被引量：23
- 2014年
- "嫦娥三号"探测器首次实现了我国航天器在地外天体软着陆,制导导航与控制技术是软着陆任务成功的关键。针对高安全和高可靠软着陆任务的要求,设计了包含接力避障的软着陆飞行程序,提出了单波束分时修正与多波束融合修正的自主导航方法和自适应动力显式制导、无迭代多项式粗避障制导以及内外环结合的精避障制导等方法。实际在轨飞行结果表明,导航算法提供了高精度的状态估计,制导算法实现了高精度状态控制和有效避障机动,确保了软着陆落月的安全性和可靠性。
- 黄翔宇张洪华王大轶李骥关轶峰王鹏基
- 关键词：软着陆自主导航制导律
- 多器组合一体化测控数传分系统设计与验证被引量：2
- 2021年
- 本文主要对嫦娥五号探测器多器组合一体化测控数传分系统方案设计、关键技术及在轨验证情况进行介绍.嫦娥五号探测器由轨道器、返回器、着陆器和上升器四器组成,存在四器组合体、两器组合体、交会对接及单器等多种工作状态,构型及工作模式极为复杂,且重量资源十分紧张.根据嫦娥五号任务特点,设计了多器组合一体化测控数传分系统,通过多器组合测控解决了探测器构型复杂全空间测控难题,并结合一体化、功能复用设计以及单机轻小型化解决了重量资源受限问题.实现了受限带宽多频率同时工作兼容性设计,合理设计并实现了数传载波抑制、频谱带外抑制,以及应答机环路带宽等关键技术指标.
- 徐宝碧李晓光王文伟李炯卉苗瑞琴强晖萍白帆
- 关键词：带外抑制载波抑制轻量化
- 嫦娥五号探测器结构分系统设计与实施被引量：2
- 2021年
- 嫦娥五号探测器首次实现了我国无人月面自动采样返回任务,探测器构型复杂、轻量化和精度要求高、环境条件和载荷工况严苛.本文对探测器整器结构及各子器结构的设计方案进行了概要介绍,并特别针对月面采样、月面起飞、月球轨道交会对接与样品转移、携带月球样品高速(11 km/s的近第二宇宙速度)返回地球等任务环节所面临的关键技术问题,重点阐述了着陆器与上升器的轻量化、高精度复材结构设计方法,防热承力一体化月面起飞平台结构的技术方案、适应斜落着陆冲击的返回器结构缓冲设计和可开关舱门的迷宫式热密封设计等.飞行任务的实施结果表明,嫦娥五号探测器结构分系统的设计取得了圆满成功.
- 董彦芝张高杨昌昊曾惠忠邓宇华王勇盛聪刘峰
- 关键词：探测器
- 嫦娥五号轨道器分离系统设计与验证被引量：2
- 2021年
- 嫦娥五号轨道器实现了中国首次月球轨道的多次分离任务.月球探测器重量限制苛刻,月球轨道空间环境复杂,连接分离任务可靠性、安全性要求高,分离系统的设计与验证难度大.本文介绍了轨道器分离系统的功能与组成、各分离面的配置、关键单机方案、分离动力学仿真分析、超高真空分离面防冷焊设计、分离系统地面验证试验.在分离系统方案中,针对重量限制苛刻难题,提出了采用大承载、轻小型的点式连接分离的方案;针对分离可靠性高的难题,发明了一种枢轴式双作动火工连接解锁机构,实现了解锁分离环节的全链路冗余;针对分离安全性高的难题,识别出分离体质心横移、弹簧分离装置输出力的偏差、弹簧分离装置刚度变化、解锁不同步性等影响要素,并采取相应的设计措施;针对大温差、微重力空间环境下分离系统验证难,提出了基于热-结构-流体多场耦合特征的分离仿真分析方法,并提出了气液电联动控制的液压重力平衡方法和大型航天器分区联动温控方法,研制了相应的分离试验系统,进行了地面试验.经飞行试验验证,嫦娥五号轨道器各分离面在轨正常解锁分离,分离姿态平稳,表明轨道器分离系统设计正确,可靠性高,地面仿真和试验验证方法有效,验证充分,满足任务要求.
- 禹志王金童杨敏刘汉武胡震宇唐杰张华
- 关键词：轨道器
- 月面采样封装操控系统方案设计与实现被引量：3
- 2021年
- 为确保嫦娥五号探测器月面无人采样封装任务的顺利实施,需要在有限的时间内操控航天器上复杂的采样封装机构和设备在不确知的环境中完成月面样品的采集和封装.为解决这一难题,本文提出了一种"近程验证-远程操控"的天地一体化双边型月面采样封装操控系统的设计方案,通过建立状态空间模型,推导并分析了系统的状态转移影响因素,给出了基于状态驱动的自主操控实施方法.验证试验证明,操控系统设计是正确有效的,在本操控系统的支持下,嫦娥五号顺利完成了我国首次月面无人采样封装任务.
- 金晟毅邓湘金郑燕红姚猛赵志晖苏若曦
- 关键词：操控系统状态空间模型
