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重庆市自然科学基金(CSTC2005BB4244)
作品数:
1
被引量:3
H指数:1
相关作者:
杨晓红
王新强
冯庆
刘高斌
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相关机构:
重庆师范大学
重庆大学
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发文基金:
重庆市自然科学基金
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相关领域:
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重庆大学
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作者
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刘高斌
1篇
冯庆
1篇
王新强
1篇
杨晓红
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1篇
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年份
1篇
2007
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TiO_2-KTaO_3复合薄膜制备与湿敏传感性质研究
被引量:3
2007年
通过溶胶凝胶法和旋涂法制备了单层和双层TiO2-KTaO3薄膜,并在不同的温度下退火1h,研究了该薄膜的湿敏传感特性。通过扫描电镜和X射线衍射研究了薄膜的形态特性,发现该薄膜具有纳米颗粒和毛细多孔结构。环境湿度变化从12%RH^97%RH的变化过程中,在500℃下退火的TiO2/KTaO3薄膜具有很高的灵敏度。对比单层薄膜,双层薄膜显示出有更大的电阻变化范围。还研究了TiO2/KTaO3薄膜的湿敏传感机理。
冯庆
王新强
杨晓红
刘高斌
关键词:
湿度传感器
溶胶凝胶法
旋涂法
TIO2
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